[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的有毒氣體排放氣體解毒裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821800930.5
• 申請(qǐng)日: 2018-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN209378704U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王軍;俞利群;俞云琪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大連八方流體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/00
• 分類號(hào): B01D53/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的有毒氣體排放氣體解毒裝置，包括生產(chǎn)裝置本體(1)，其特征在于：所述生產(chǎn)裝置本體(1)的左側(cè)內(nèi)腔設(shè)置有壓力傳感器(14)，所述生產(chǎn)裝置本體(1)的左側(cè)壁設(shè)置有解毒開關(guān)(13)，所述生產(chǎn)裝置本體(1)的底部設(shè)置有兩組滾輪(12)，所述生產(chǎn)裝置本體(1)的頂部通過連接管(2)與解毒裝置(7)的頂部連接，所述生產(chǎn)裝置本體(1)與解毒裝置(7)之間設(shè)置有排泄管道(10)，所述排泄管道(10)的一端與生產(chǎn)裝置本體(1)連接，且排泄管道(10)貫穿解毒裝置(7)的內(nèi)腔另一端與排氣噴頭(4)連接，所述解毒裝置(7)的底部設(shè)置有水箱(9)，所述水箱(9)的內(nèi)腔設(shè)置有水泵(8)，所述解毒裝置(7)的右側(cè)壁底部設(shè)置有控制裝置(6)，所述控制裝置(6)頂端設(shè)置有冷風(fēng)機(jī)(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的有毒氣體排放氣體解毒裝置，其特征在于：兩組所述滾輪(12)的一側(cè)設(shè)置有卡扣(11)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的有毒氣體排放氣體解毒裝置，其特征在于：所述水泵(8)的外側(cè)設(shè)置有保護(hù)層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的有毒氣體排放氣體解毒裝置，其特征在于：所述控制裝置(6)與冷風(fēng)機(jī)(5)電性連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用的有毒氣體排放氣體解毒裝置，其特征在于：所述連接管(2)和排泄管道(10)上分別設(shè)置有控制閥(3)。