[實用新型]一種硅片自分片傳送定位系統

有效

• 申請號: 201821788014.4
• 申請日: 2018-11-01
• 公開（公告）號: CN209097769U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 萬喜增;嚴云;黃笑容;鄭六奎
• 申請（專利權）人: 浙江中晶新材料研究有限公司
• 主分類號: B65G59/06
• 分類號: B65G59/06;B65G43/08
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 韓燕燕

1.一種硅片自分片傳送定位系統，包括安裝架(1)，其特征在于，還包括：

上料提升機構(2)，所述上料提升機構(2)設置于所述安裝架(1)上，該上料提升機構(2)用于帶動內部堆疊放置有若干硅片(10)的片盒(28)向上移動；

分片機構(3)，所述分片機構(3)設置于所述上料提升機構(2)的后側；

傳輸機構(4)，所述傳輸機構(4)設置于所述分片機構(3)的后方，位于片盒(28)最上方的硅片(10)經分片機構(3)通過接觸摩擦傳動方式將其自動傳送至傳輸機構(4)上；以及

自定心機構(5)，所述自定心機構(5)設置于所述傳輸機構(4)一端的上方，硅片(10)由傳輸機構(4)以滾動傳送方式將其轉移至自定心機構(5)處實現該硅片(10)的自定心調整、定位。

2.根據權利要求1所述的一種硅片自分片傳送定位系統，其特征在于，所述上料提升機構(2)包括固定安裝于設備機架上的硅片升降模組(23)及滑動設置于所述硅片升降模組(23)上的上料支架(25)，所述片盒(28)安裝于所述上料支架(25)上，所述片盒(28)下方設置有光敏傳感器(271)，所述光敏傳感器(271)的上方設置有硅片堆疊區(21)。

3.根據權利要求2所述的一種硅片自分片傳送定位系統，其特征在于，所述上料支架(25)于所述分片機構(3)進行所述硅片(10)的分片過程中實現同步向上提升。

4.根據權利要求2所述的一種硅片自分片傳送定位系統，其特征在于，所述分片機構(3)的一端位于所述硅片堆疊區(21)內，且位于所述硅片堆疊區(21)頂端的硅片(10)始終與所述分片機構(3)的一端接觸設置。

5.根據權利要求2所述的一種硅片自分片傳送定位系統，其特征在于，所述分片機構(3)的一端位于所述片盒(28)內的上方，該分片機構(3)包括：

分片驅動組件(31)，所述分片驅動組件(31)設置于所述硅片堆疊區(21)的上方；

分片傳輸組件(32)，所述分片傳輸組件(32)設置于所述硅片堆疊區(21)的上方，且該分片傳輸組件(32)的一端位于所述片盒(28)內，該分片傳輸組件(32)上設置有若干轉動設置的硅膠管(37)，若干硅膠管(37)與位于片盒(28)頂端的硅片(10)相切接觸設置；

接近開關(39)，所述接近開關(39)安裝于所述分片傳輸組件(32)上，且該接近開關(39)位于所述硅片堆疊區(21)的上方，該接近開關(39)用于控制分片驅動組件(31)的轉動和停止。

6.根據權利要求3所述的一種硅片自分片傳送定位系統，其特征在于，所述傳輸機構(4)設置于所述分片機構(3)的后側，且該傳輸機構(4)的一端位于所述分片機構(3)一側的下方，該傳輸機構(4)包括：

傳輸驅動組件(41)；

若干傳輸硅膠管(46)，若干傳輸硅膠管(46)由傳輸驅動組件(41)驅動下進行轉動，將由分片傳輸組件(32)單片分片的硅片(10)進行繼續向后傳輸，該傳輸硅膠管(46)與硅膠管(37)之間形成硅片傳輸通道(461)；

傳輸接近傳感器(48)，所述傳輸接近傳感器(48)位于若干傳輸硅膠管(46)傳輸方向的一端上，該傳輸接近傳感器(48)控制傳輸驅動組件(41)的轉動和停止，且該傳輸接近傳感器(48)控制自定心機構(5)進行硅片(10)的定心；

所述傳輸機構(4)靠近所述上料提升機構(2)的一端上還固定設置有擋板(49)，該擋板(49)與所述片盒(28)一端接觸設置，位于片盒(28)內的堆疊設置的硅片(10)與擋板(49)抵觸設置。