[實用新型]一種多工位硅片轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821787995.0
• 申請日: 2018-11-01
• 公開（公告）號: CN209097739U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬喜增;嚴云;黃笑容;鄭六奎
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江中晶新材料研究有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G49/05
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 韓燕燕

本實用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多工位硅片轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，包括傳送機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、升降機構(gòu)及吸附機構(gòu)，由吸附機構(gòu)將硅片吸取，由升降機構(gòu)驅(qū)動吸附機構(gòu)沿豎直方向運動，將硅片提起，由旋轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動升降機構(gòu)旋轉(zhuǎn)，帶動硅片做圓周轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)位置轉(zhuǎn)移，由傳送機構(gòu)驅(qū)動升降機構(gòu)沿水平方向做往復(fù)運動，從而將硅片轉(zhuǎn)移到加工工位上進行后續(xù)加工，整個過程自動化操作、設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、傳送過程流暢快捷，實現(xiàn)一個轉(zhuǎn)移機構(gòu)配合多臺加工工位，將代加工硅片分別傳送至多個加工工位上，工作效率高，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的傳送流程長、耗費時間、無法精準定位、單個轉(zhuǎn)移裝置無法對接多臺加工工位、工作效率低下、設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜等問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多工位硅片轉(zhuǎn)移系統(tǒng)。

背景技術(shù)

21世紀以來，全球能源消費急劇攀升，傳統(tǒng)化石能源日益枯竭，能源問題和環(huán)境問題逐漸成為全球關(guān)注的兩大重點問題。迫于可持續(xù)發(fā)展的壓力，太陽能光伏產(chǎn)業(yè)成為可再生能源開發(fā)利用的重點。

晶硅太陽電池是目前技術(shù)最成熟、應(yīng)用最廣泛的太陽能光伏產(chǎn)品。在晶硅及其制品的生產(chǎn)過程中，需先將硅棒切割成硅片，由于硅片經(jīng)過切割后邊緣表面有棱角毛刺崩邊甚至有裂縫或其它缺陷，邊緣表面比較粗糙，因此為了增加硅切片邊緣表面機械強度、減少顆粒污染，要將其邊緣磨削呈圓弧狀或梯形，該過程即為倒角，倒角前需使用一種硅片轉(zhuǎn)移裝置將待倒角的硅片放置到倒角設(shè)備上。

中國專利申請?zhí)枮?01510021848.7所公開的硅片分片裝置及硅片卸載系統(tǒng)，包括傳送帶、翻片器、石英舟、分片裝置，通過在堆疊設(shè)置的硅片組底部設(shè)置傳送帶，將硅片經(jīng)傳送帶傳送至翻片器處，經(jīng)翻片器將硅片分成單片，并旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)移至下一傳送帶繼續(xù)傳送至石英舟內(nèi)進行加工，加工完成的硅片經(jīng)傳送帶傳送至分片裝置處，通過上吸盤吸氣吸附上方硅片、下吸盤吸氣吸附下方硅片，上吸盤向上移動使硅片分離，此時下吸盤停止吸氣，下方硅片得以繼續(xù)由傳送帶傳送至下一處理機構(gòu)，從而實現(xiàn)單片硅片的轉(zhuǎn)移。

然而上述技術(shù)方案中，采用多個傳送帶進行傳送，傳送流程長，耗費時間，且只能實現(xiàn)單片硅片傳送至硅片加工機構(gòu)處，無法進行精準定位，且無法滿足一個轉(zhuǎn)移裝置配合多個硅片加工工位的要求，工作效率低下，設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，使用成本較高，不利于工業(yè)化生產(chǎn)使用。

綜上所述，上述技術(shù)方案存在傳送流程長、耗費時間、無法精準定位、單個轉(zhuǎn)移裝置無法對接多臺加工工位、工作效率低下、設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜等問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提供一種多工位硅片轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，通過傳送機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、升降機構(gòu)及吸附機構(gòu)的依次連接設(shè)置，由吸附機構(gòu)將硅片吸取，由升降機構(gòu)驅(qū)動吸附機構(gòu)將硅片沿豎直方向提起，由旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動硅片做圓周轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)位置轉(zhuǎn)移，由傳送機構(gòu)將硅片水平轉(zhuǎn)移到各個工位上進行后續(xù)加工，整個過程自動化操作、設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、傳送過程流暢快捷、一個轉(zhuǎn)移機構(gòu)配合多臺加工工位、工作效率高，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的傳送流程長、耗費時間、無法精準定位、單個轉(zhuǎn)移裝置無法對接多臺加工工位、工作效率低下、設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜等問題。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種多工位硅片轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，包括：

傳送機構(gòu)，所述傳送機構(gòu)為水平設(shè)置，其包括下蓋板、滑動組件及水平驅(qū)動組件，所述滑動組件與所述水平驅(qū)動組件平行設(shè)置，所述水平驅(qū)動組件位于所述下蓋板上端面的中線上，所述滑動組件沿所述水平驅(qū)動組件的長度方向?qū)ΨQ設(shè)置于所述下蓋板的兩側(cè)，所述下蓋板由所述水平驅(qū)動組件驅(qū)動沿滑動組件的長度方向往復(fù)滑動；

旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述下蓋板的下端面固定連接，其與該下蓋板同步滑動，且其包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件及懸臂組件，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件豎直安裝于所述下蓋板上，所述懸臂組件安裝于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件的旋轉(zhuǎn)端部，其由該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件驅(qū)動旋轉(zhuǎn)設(shè)置；