[實用新型]一種多工位硅片轉移系統

有效

• 申請號: 201821787995.0
• 申請日: 2018-11-01
• 公開（公告）號: CN209097739U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 萬喜增;嚴云;黃笑容;鄭六奎
• 申請（專利權）人: 浙江中晶新材料研究有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G49/05
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 韓燕燕

1.一種多工位硅片轉移系統，其特征在于，包括：

傳送機構(1)，所述傳送機構(1)為水平設置，其包括下蓋板(10)、滑動組件(11)及水平驅動組件(12)，所述滑動組件(11)與所述水平驅動組件(12)平行設置，所述水平驅動組件(12)位于所述下蓋板(10)上端面的中線上，所述滑動組件(11)沿所述水平驅動組件(12)的長度方向對稱設置于所述下蓋板(10)的兩側，所述下蓋板(10)由所述水平驅動組件(12)驅動沿滑動組件(11)的長度方向往復滑動；

旋轉機構(2)，所述旋轉機構(2)與所述下蓋板(10)的下端面固定連接，其與該下蓋板(10)同步滑動，且其包括旋轉驅動組件(21)及懸臂組件(22)，所述旋轉驅動組件(21)豎直安裝于所述下蓋板(10)上，所述懸臂組件(22)安裝于所述旋轉驅動組件(21)的旋轉端部，其由該旋轉驅動組件(21)驅動旋轉設置；

升降機構(3)，所述升降機構(3)通過所述懸臂組件(22)與所述旋轉機構(2)連接，其隨該懸臂組件(22)同步旋轉，且其包括豎直驅動組件(31)及導向組件(32)，所述豎直驅動組件(31)與所述導向組件(32)平行設置；以及

吸附機構(4)，所述吸附機構(4)包括連接板(41)及吸附組件(42)，所述吸附組件(42)通過連接板(41)安裝于所述豎直驅動組件(31)的推送端，該吸附組件(42)由所述豎直驅動組件(31)驅動豎直升降吸附硅片(5)。

2.根據權利要求1所述的一種多工位硅片轉移系統，其特征在于，所述滑動組件(11)包括：

滑軌(111)，所述滑軌(111)通過安裝架(110)水平對稱設置于所述下蓋板(10)上端面的兩側；以及

滑塊(112)，若干所述滑塊(112)上端面分別卡設于所述滑軌(111)上，下端面分別與所述下蓋板(10)固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種多工位硅片轉移系統，其特征在于，所述水平驅動組件(12)包括：

水平驅動件(121)，所述水平驅動件(121)設置于所述安裝架(110)延長度方向的一側；

滾珠絲杠(122)，所述滾珠絲杠(122)一端與所述水平驅動件(121)同軸設置，另一端轉動設置于所述安裝架(110)背離所述水平驅動件(121)的一端，所述水平驅動件(121)驅動所述滾珠絲杠(122)旋轉；以及

滾珠螺母(123)，所述滾珠螺母(123)套設于所述滾珠絲杠(122)上，且其與所述下蓋板(10)的上端面固定連接，所述滾珠螺母(123)由所述滾珠絲杠(122)旋轉帶動沿所述滾珠絲杠(122)的長度方向水平往復滑動。

4.根據權利要求1所述的一種多工位硅片轉移系統，其特征在于，所述旋轉驅動組件(21)包括：

連接塊(211)，所述連接塊(211)固定設置于所述下蓋板(10)的下端面上；

安裝板(212)，所述安裝板(212)固定設置于所述連接塊(211)的下端面上；

旋轉驅動件(213)，所述旋轉驅動件(213)固定設置于所述安裝板(212)的下端面上；以及

旋轉軸座(214)，所述旋轉軸座(214)固定設置于所述旋轉驅動件(213)的底部，其由所述旋轉驅動件(213)驅動旋轉。

5.根據權利要求1所述的一種多工位硅片轉移系統，其特征在于，所述懸臂組件(22)包括：

連接法蘭(221)，所述連接法蘭(221)與所述旋轉驅動組件(21)的底部同軸設置，其由所述旋轉驅動組件(21)帶動旋轉；以及

懸臂(222)，所述懸臂(222)為水平設置，其一端與所述連接法蘭(221)的底部固定連接，另一端懸空設置。

6.根據權利要求5所述的一種多工位硅片轉移系統，其特征在于，所述豎直驅動組件(31)包括：

安裝座(311)，所述安裝座(311)豎直設置于所述懸臂(222)懸空設置的一端；

豎直驅動件(312)，所述豎直驅動件(312)設置于所述安裝座(311)上；以及

豎直驅動軸(313)，所述豎直驅動軸(313)穿設于所述豎直驅動件(312)上，其由所述豎直驅動件(312)帶動豎直往復運動。