[實用新型]一種溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821785110.3
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN208835053U
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L23/528
• 分類號: H01L23/528;H01L21/768;H01L23/00
• 代理公司: 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 于寶慶;崔香丹

一種溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)，包括：基底，溝槽，字線結(jié)構(gòu)，多個金屬互連層，金屬間介電層以及層間介電層?；拙哂卸鄠€芯片區(qū)域以及位于相鄰所述芯片區(qū)域間的保護(hù)圈區(qū)域。溝槽位于保護(hù)圈區(qū)域中。字線結(jié)構(gòu)位于所述溝槽中。多個金屬互連層位于所述基底上，呈層疊狀設(shè)置。金屬間介電層位于相鄰所述金屬互連層之間，其中所述金屬間介電層中具有第一連接件，所述第一連接件連接上下相鄰的所述金屬互連層。層間介電層位于最底層的所述金屬互連層與所述基底之間，其中所述層間介電層中具有第二連接件，所述第二連接件連接最底層金屬互連層和所述字線結(jié)構(gòu)。本實用新型的溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)能夠減少字線通道的泄露路徑，同時能夠避免浮動節(jié)點電位浮動。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體存儲器。特別涉及內(nèi)存組件裝置構(gòu)造中的溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

主芯片保護(hù)圈是晶元封裝和劃片的一道重要保護(hù)屏障。芯片保護(hù)圈可阻擋外界濕氣和應(yīng)力對晶元造成的損傷，以實現(xiàn)良好的產(chǎn)品可靠性。傳統(tǒng)的保護(hù)圈由簡單硅襯底和其上金屬互連層及通道形成，類似于“墻”的結(jié)構(gòu)。然而現(xiàn)有技術(shù)的芯片保護(hù)圈存在電泄露路徑和節(jié)點的電位浮動等問題，需要更好的解決方案。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供一種溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)，能夠減少保護(hù)圈結(jié)構(gòu)的電泄露，同時也避免節(jié)點的電位浮動。

本實用新型還提供一種溝槽保護(hù)圈，包括：基底、溝槽、字線結(jié)構(gòu)、多個金屬互連層，金屬間介電層以及層間介電層?；拙哂卸鄠€芯片區(qū)域以及位于相鄰芯片區(qū)域間的保護(hù)圈區(qū)域。溝槽位于保護(hù)圈區(qū)域中。字線結(jié)構(gòu)位于溝槽中。多個金屬互連層位于基底上，呈層疊狀設(shè)置。金屬間介電層位于相鄰金屬互連層之間，其中金屬間介電層中具有第一連接件，第一連接件連接上下相鄰的金屬互連層。層間介電層位于最底層的金屬互連層與基底之間，其中層間介電層中具有第二連接件，第二連接件連接最底層金屬互連層和字線結(jié)構(gòu)。

在本實用新型的一些實施例中，保護(hù)圈區(qū)域中的溝槽內(nèi)的字線結(jié)構(gòu)電位接地。

在本實用新型的一些實施例中，溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)中包含多個溝槽以及多個字線結(jié)構(gòu)，溝槽的數(shù)量與字線結(jié)構(gòu)的數(shù)量相同，字線以及溝槽的數(shù)量為2或2的倍數(shù)。

在本實用新型的一些實施例中，最底層的金屬互連層與多個字線結(jié)構(gòu)中的至少一個通過第二連接件相連接。

在本實用新型的一些實施例中，芯片區(qū)域包含與溝槽保護(hù)圈區(qū)域中對應(yīng)相同或相似的各個部件，部件包括溝槽、字線結(jié)構(gòu)、層間介電層、第二連接件、金屬互連層、金屬間介電層以及第一連接件。

在本實用新型的一些實施例中，保護(hù)圈區(qū)域內(nèi)的金屬互連層、第一連接件、第二連接件以及字線結(jié)構(gòu)與芯片區(qū)域內(nèi)對應(yīng)的相同或相似的部件互不相連。

本實用新型的有益效果在于，通過在保護(hù)圈區(qū)域內(nèi)的基底中設(shè)置兩個字線結(jié)構(gòu)，字線結(jié)構(gòu)電位接地以減少保護(hù)圈結(jié)構(gòu)的電泄露路徑。同時將多個字線結(jié)構(gòu)其中的至少一個通過連接件連接到金屬互連層，能夠避免節(jié)點電位浮動。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)的包含溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)的基底剖視示意圖；

圖2是本實用新型的包含溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)的基底剖視示意圖。

圖3是本實用新型的基底的俯視示意圖。

具體實施方式

以下是通過特定的具體實例來說明本實用新型所公開有關(guān)“溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)”及“溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)的形成方法”的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所公開的內(nèi)容了解本實用新型的優(yōu)點與效果。本實用新型可通過其他不同的具體實施例加以施行或應(yīng)用，本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可基于不同觀點與應(yīng)用，在不悖離本實用新型的構(gòu)思下進(jìn)行各種修改與變更。以下的實施方式將進(jìn)一步詳細(xì)說明本實用新型的相關(guān)技術(shù)內(nèi)容，但所公開的內(nèi)容并非用以限制本實用新型的保護(hù)范圍。