[實(shí)用新型]一種溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821785110.3
• 申請(qǐng)日: 2018-10-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208835053U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L23/528
• 分類(lèi)號(hào): H01L23/528;H01L21/768;H01L23/00
• 代理公司: 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 于寶慶;崔香丹

1.一種溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

基底，所述基底具有多個(gè)芯片區(qū)域以及位于相鄰所述芯片區(qū)域間的保護(hù)圈區(qū)域；

溝槽，位于所述保護(hù)圈區(qū)域中；

字線(xiàn)結(jié)構(gòu)，位于所述溝槽中；

多個(gè)金屬互連層，位于所述基底上，呈層疊狀設(shè)置；

金屬間介電層，位于相鄰所述金屬互連層之間，其中所述金屬間介電層中具有第一連接件，所述第一連接件連接上下相鄰的所述金屬互連層；

層間介電層，位于最底層的所述金屬互連層與所述基底之間，其中所述層間介電層中具有第二連接件，所述第二連接件連接最底層金屬互連層和所述字線(xiàn)結(jié)構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1所述的溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述保護(hù)圈區(qū)域中的所述溝槽內(nèi)的所述字線(xiàn)結(jié)構(gòu)電位接地。

3.如權(quán)利要求1所述的溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)中包含多個(gè)所述溝槽以及多個(gè)所述字線(xiàn)結(jié)構(gòu)，所述溝槽的數(shù)量與所述字線(xiàn)結(jié)構(gòu)的數(shù)量相同，所述字線(xiàn)以及所述溝槽的數(shù)量為2或2的倍數(shù)。

4.如權(quán)利要求3所述的溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，最底層的所述金屬互連層與多個(gè)所述字線(xiàn)結(jié)構(gòu)中的至少一個(gè)通過(guò)所述第二連接件相連接。

5.如權(quán)利要求1所述的溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述芯片區(qū)域包含與所述溝槽保護(hù)圈區(qū)域中對(duì)應(yīng)相同或相似的各個(gè)部件，所述部件包括所述溝槽、所述字線(xiàn)結(jié)構(gòu)、所述層間介電層、所述第二連接件、所述金屬互連層、所述金屬間介電層以及所述第一連接件。

6.如權(quán)利要求1所述的溝槽保護(hù)圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述保護(hù)圈區(qū)域內(nèi)的所述金屬互連層、所述第一連接件、所述第二連接件以及所述字線(xiàn)結(jié)構(gòu)與所述芯片區(qū)域內(nèi)對(duì)應(yīng)的相同或相似的部件互不相連。