[實(shí)用新型]一種柔性基材取下系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821784182.6
• 申請(qǐng)日: 2018-10-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208767272U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳廣飛;劉大剛;李性照
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，包括：

載臺(tái)，所述載臺(tái)用于承載上表面通過(guò)溫控膠粘附有柔性基材的基板；

換熱單元，所述換熱單元用于與所述溫控膠進(jìn)行換熱，以降低所述溫控膠的粘性；

起角單元，所述起角單元包括起角刀和與所述起角刀連接的第一驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述第一驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述起角刀移動(dòng)至所述柔性基材的邊緣區(qū)域與所述溫控膠之間，以使所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域與所述溫控膠分離；

分離單元，所述分離單元包括固定件和與所述固定件連接的第二驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述固定件用于與所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域固定，所述第二驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述固定件移動(dòng)，以使所述固定件帶動(dòng)所述柔性基材與所述溫控膠完全分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，所述換熱單元用于對(duì)所述溫控膠進(jìn)行降溫，所述柔性基材取下系統(tǒng)還包括防結(jié)露單元，所述防結(jié)露單元包括：

密閉腔室，所述載臺(tái)位于所述密閉腔室內(nèi)；

濕度傳感器，所述濕度傳感器用于實(shí)時(shí)檢測(cè)所述密閉腔室內(nèi)的空氣濕度；

抽濕機(jī)，所述抽濕機(jī)與所述濕度傳感器連接，當(dāng)所述濕度傳感器檢測(cè)到所述密閉腔室內(nèi)的空氣濕度大于閾值時(shí)，所述抽濕機(jī)對(duì)所述密閉腔室進(jìn)行抽濕。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，所述密閉腔室包括由隔板隔開(kāi)的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室與所述抽濕機(jī)的出風(fēng)口連通，所述第二腔室與所述抽濕機(jī)的入風(fēng)口連通，所述隔板上設(shè)有通孔，所述通孔內(nèi)安裝有空氣過(guò)濾器，所述載臺(tái)位于所述第二腔室內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，還包括保護(hù)膜貼附單元，所述保護(hù)膜貼附單元用于為所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域貼附保護(hù)膜，所述保護(hù)膜的強(qiáng)度大于所述柔性基材的強(qiáng)度，所述保護(hù)膜與所述柔性基材的熱膨脹系數(shù)相等。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，所述保護(hù)膜貼附單元包括真空腔體，所述真空腔體的底壁上設(shè)有多個(gè)與所述真空腔體內(nèi)的真空環(huán)境連通的吸附孔，所述吸附孔用于吸附所述保護(hù)膜，所述真空腔體內(nèi)設(shè)有第一滾輪，所述第一滾輪可在所述真空腔體的底壁上滾動(dòng)以擠壓所述真空腔體的底壁，使所述真空腔體的底壁上與所述第一滾輪接觸的位置向下變形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，沿所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域的長(zhǎng)度方向，所述起角刀的尺寸小于所述邊緣區(qū)域的尺寸；

所述第一驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括寬度方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述寬度方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述起角刀沿所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域的寬度方向移動(dòng)，以使所述起角刀移動(dòng)至所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域與所述溫控膠之間，所述長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述起角刀沿所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，以使所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域與所述溫控膠分離。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括水平方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和豎直方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述水平方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述固定件沿所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域的寬度方向移動(dòng)，所述豎直方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述固定件沿豎直方向移動(dòng)，所述水平方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和所述豎直方向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)可同時(shí)啟動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，所述固定件為第二滾輪，所述第二滾輪的滾動(dòng)面上設(shè)有溫控膠，所述第二滾輪可通過(guò)其上的所述溫控膠與所述柔性基材的所述邊緣區(qū)域粘接，所述第二滾輪內(nèi)設(shè)有加熱管和冷卻管。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，所述換熱單元包括設(shè)于所述載臺(tái)內(nèi)且在水平面上均勻分布的多個(gè)換熱管和多個(gè)溫度傳感器，每個(gè)所述換熱管均設(shè)置有流量閥，多個(gè)所述溫度傳感器與多個(gè)所述流量閥一一對(duì)應(yīng)連接，所述流量閥可根據(jù)相應(yīng)的所述溫度傳感器檢測(cè)到的所述載臺(tái)相應(yīng)位置的溫度來(lái)調(diào)節(jié)自身開(kāi)度。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的柔性基材取下系統(tǒng)，其特征在于，所述載臺(tái)內(nèi)還設(shè)有傳熱板，所述傳熱板的下表面與多個(gè)所述換熱管均接觸。