[實用新型]一種機械手定位裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821783360.3
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN209022080U
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 文靜;張闊峰;陶洪建;鄭鋒標
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: B25J11/00
• 分類號: B25J11/00;B25J19/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實用新型涉及光刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種機械手定位裝置。該定位裝置的滑板可移動地設(shè)置在基板上，驅(qū)動組件驅(qū)動滑板在垂直方向上往復(fù)運動。定位組件設(shè)置在滑板的頂端，用于為機械手進行水平向定位，減震組件連接在滑板與定位組件之間，用于吸收機械手與定位組件接觸時產(chǎn)生的沖擊振動。該滑板能在驅(qū)動組件的驅(qū)動作用下在垂直方向上往復(fù)運動，有效提高了垂向往復(fù)運動時的重復(fù)性精度，從而減少垂向運動對水平向重復(fù)定位精度的影響，提高機械手的水平向重復(fù)定位精度；通過設(shè)置減震組件，可有效吸收機械手定位時產(chǎn)生的沖擊振動，進一步提高機械手的水平向重復(fù)定位精度，從而提高硅片交接和上片位置重復(fù)性精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及光刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種機械手定位裝置。

背景技術(shù)

光刻設(shè)備的硅片傳輸系統(tǒng)中，需要用機械手快速、準確、可靠的將硅片從預(yù)對準工位傳遞至工件臺上。為保證硅片在從預(yù)對準工位到工件臺上的位置精度，要求機械手在取片和放片時的水平向重復(fù)定位精度達到1μm。在實際工作中機械手末端定位精度與重復(fù)性精度較低，重復(fù)性精度在50μm左右，而先進光刻機對硅片的上片重復(fù)性精度要求遠高于此，因此，僅僅依靠機械手自身的精度是無法滿足使用需求的。

目前在硅片傳輸系統(tǒng)中常用的定位方式為V型槽定位結(jié)構(gòu)。如圖1所示，定位結(jié)構(gòu)安裝在預(yù)對準工位或工件臺1’上。在機械手腕部2’設(shè)置有兩個定位滾輪3’，定位板4’上設(shè)置V型槽41’及定位平面42’。當機械手與目標硅片進行交接時，機械手腕部2’的定位滾輪3’與定位板4’接觸，其中一側(cè)的定位滾輪3’與定位板的V型槽41’接觸，另一側(cè)的定位滾輪3’與定位平面42’接觸，通過三點接觸，限制機械手末端X、Y、Rz三個方向的自由度，從而對片叉5’的取片或放片過程進行定位。該定位過程中，機械手與定位板4’接觸時會產(chǎn)生沖擊振動，影響水平向定位精度及重復(fù)性精度。

另一方面，如圖2所示，目前光刻設(shè)備的機械手定位結(jié)構(gòu)，其垂向運動單元為電機6’驅(qū)動滾珠絲杠結(jié)構(gòu)。由于滾珠絲杠結(jié)構(gòu)自身存在配合間隙，垂向往復(fù)運動時的重復(fù)性精度較低，垂向運動會影響機械手水平向的重復(fù)定位精度，進而影響機械手取片和放片位置的準確性。

因此，亟需提供一種機械手定位裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的機械手定位時易產(chǎn)生沖擊振動及水平向重復(fù)定位精度低的技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種機械手定位裝置，該定位裝置能夠有效吸收機械手定位時產(chǎn)生的沖擊振動，提高機械手水平向重復(fù)定位精度。

為達此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種機械手定位裝置，包括：

基板；

滑板，其可移動地設(shè)置在所述基板上；

驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件被配置為能夠驅(qū)動所述滑板在垂直方向上往復(fù)運動；

定位組件，其設(shè)置在所述滑板的頂端，所述定位組件用于為機械手進行水平向定位；

減震組件，其連接在所述滑板與所述定位組件之間，用于吸收所述機械手與所述定位組件接觸時產(chǎn)生的沖擊振動。

作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術(shù)方案，所述驅(qū)動組件包括電機和凸輪，所述凸輪設(shè)置于所述電機的輸出軸上，所述滑板上設(shè)置有從動輪，所述從動輪與所述凸輪的周面配合。

作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術(shù)方案，還包括彈性件，所述彈性件的一端固定在所述基板上，另一端固定在所述滑板上，所述彈性件被配置為使所述從動輪始終與所述凸輪周面接觸。

作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術(shù)方案，所述定位組件包括定位板和調(diào)整板，所述定位板上設(shè)置有若干定位凸臺，若干所述定位凸臺均與所述調(diào)整板接觸。

作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術(shù)方案，所述定位凸臺與所述定位板一體成型。