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[實用新型]一種機械手定位裝置有效

專利信息
申請號: 201821783360.3 申請日: 2018-10-31
公開(公告)號: CN209022080U 公開(公告)日: 2019-06-25
發明(設計)人: 文靜;張闊峰;陶洪建;鄭鋒標 申請(專利權)人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
主分類號: B25J11/00 分類號: B25J11/00;B25J19/00
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 機械手 水平向 滑板 定位組件 重復定位 機械手定位裝置 沖擊振動 減震組件 驅動組件 可移動地設置 本實用新型 垂向運動 定位裝置 光刻設備 驅動滑板 有效吸收 硅片 基板 上片 交接 驅動 吸收
【權利要求書】:

1.一種機械手定位裝置,其特征在于,包括:

基板(1);

滑板(2),其可移動地設置在所述基板(1)上;

驅動組件,所述驅動組件被配置為能夠驅動所述滑板(2)在垂直方向上往復運動;

定位組件,其設置在所述滑板(2)的頂端,所述定位組件用于為機械手進行水平向定位;

減震組件(3),其連接在所述滑板(2)與所述定位組件之間,用于吸收所述機械手與所述定位組件接觸時產生的沖擊振動。

2.根據權利要求1所述的機械手定位裝置,其特征在于,所述驅動組件包括電機(4)和凸輪(5),所述凸輪(5)設置于所述電機(4)的輸出軸上,所述滑板(2)上設置有從動輪(6),所述從動輪(6)與所述凸輪(5)的周面配合。

3.根據權利要求2所述的機械手定位裝置,其特征在于,還包括彈性件(7),所述彈性件(7)的一端固定在所述基板(1)上,另一端固定在所述滑板(2)上,所述彈性件(7)被配置為使所述從動輪(6)始終與所述凸輪(5)周面接觸。

4.根據權利要求1所述的機械手定位裝置,其特征在于,所述定位組件包括定位板(8)和調整板(9),所述定位板(8)上設置有若干定位凸臺(81),若干所述定位凸臺(81)均與所述調整板(9)接觸。

5.根據權利要求4所述的機械手定位裝置,其特征在于,所述定位凸臺(81)與所述定位板(8)一體成型。

6.根據權利要求4所述的機械手定位裝置,其特征在于,所述定位板(8)的一端設置有V型槽,另一端設置有定位平面,所述機械手上的兩個定位滾輪(13)分別與所述V型槽和所述定位平面接觸定位。

7.根據權利要求4所述的機械手定位裝置,其特征在于,所述減震組件(3)包括兩個簧片,分別設置在所述滑板(2)頂部的兩端,所述簧片呈U型,所述簧片包括底部和兩個側部,所述底部固定在所述滑板(2)上,兩個所述側部分別固定在所述定位板(8)和所述調整板(9)上。

8.根據權利要求4所述的機械手定位裝置,其特征在于,所述減震組件(3)包括兩組彈簧,分別設置在所述滑板(2)頂部的兩端,每組所述彈簧均包括第一彈簧和第二彈簧,所述第一彈簧連接所述滑板(2)和所述定位板(8),所述第二彈簧連接所述滑板(2)和所述調整板(9)。

9.根據權利要求1所述的機械手定位裝置,其特征在于,所述滑板(2)與所述基板(1)之間通過導軌(10)與滑塊(11)連接。

10.根據權利要求1所述的機械手定位裝置,其特征在于,所述滑板(2)與所述基板(1)之間通過交叉滾子導軌(12)連接。

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