[實用新型]一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821782720.8
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN209128527U
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設計）人: 唐安泰
• 申請（專利權）人: 株洲火炬安泰新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/30
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 任重;馮振寧

本實用新型屬于電子束蒸鍍技術領域，尤其為一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置，包括蒸鍍裝置本體，所述蒸鍍裝置本體上開設有真空腔，所述真空腔內設有基板支架，所述基板支架與真空腔的頂部內壁轉動連接，所述真空腔的底部內壁上固定安裝有安裝座，所述安裝座的頂部開設有安裝槽，所述安裝槽內活動安裝有托板，所述托板的兩側均固定安裝有安裝塊，所述安裝塊上轉動安裝有內螺紋管，所述內螺紋管內螺紋安裝有螺紋桿，所述螺紋桿的頂端和低端均延伸至內螺紋管外，所述螺紋桿的底端固定安裝有掛鉤。本實用新型操作簡單，實用性強，方便蒸鍍材料的放置，同時，便于對蒸鍍材料支撐裝置進行清理，提高ITO膜的質量。

技術領域

本實用新型涉及電子束蒸鍍技術領域，尤其涉及一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置。

背景技術

電子束蒸鍍是物理氣相沉積的一種，與傳統(tǒng)蒸鍍方式不同，電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準地實現(xiàn)利用高能電子轟擊蒸鍍材料，使之融化進而沉積在基片上，電子束蒸鍍可以鍍出高純度高精度的薄膜，現(xiàn)有技術中，通過蒸鍍裝置制造ITO模，經(jīng)檢索，授權公告號為CN203530419U的專利文件公開了一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置，用于LED芯片的制造，其特征在于：所述真空室的一側設置有等離子槍，所述等離子槍作為蒸發(fā)源，本實用新型的優(yōu)點是，采用等離子槍作為蒸發(fā)源，利用低電壓高電流電子束蒸鍍ITO薄膜，同傳統(tǒng)高電壓低電流電子束蒸鍍比較，對基板的損傷大幅度降低，通過控制蒸鍍條件，如基板溫度，膜層厚度和蒸發(fā)速率等來沉積ITO薄膜，能夠制備出平均透過率大，方阻小的薄膜，滿足作為P型電極的光電特性，在蒸鍍材料蒸發(fā)通過等離子區(qū)時，被等離子體離化，二次獲得能量，從而獲得良好的大晶粒、高透過率ITO薄膜，且由于ITO薄膜晶體顆粒大，提高了ITO薄膜的霍耳遷移率，降低了其方塊電阻。

但是，現(xiàn)有技術中，蒸鍍材料支撐裝置為固定設置，不便于放置蒸鍍材料，同時，當需要清理時，不便于對其拆卸清理，影響ITO膜的質量，為此，提出一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的缺點，而提出的一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置，包括蒸鍍裝置本體，所述蒸鍍裝置本體上開設有真空腔，所述真空腔內設有基板支架，所述基板支架與真空腔的頂部內壁轉動連接，所述真空腔的底部內壁上固定安裝有安裝座，所述安裝座的頂部開設有安裝槽，所述安裝槽內活動安裝有托板，所述托板的兩側均固定安裝有安裝塊，所述安裝塊上轉動安裝有內螺紋管，所述內螺紋管內螺紋安裝有螺紋桿，所述螺紋桿的頂端和低端均延伸至內螺紋管外，所述螺紋桿的底端固定安裝有掛鉤，所述安裝座的頂部開設有兩個滑動槽，兩個滑動槽為位于安裝槽的兩側，所述滑動槽內滑動安裝有滑塊，所述滑塊的底部與滑動槽的底部內壁滑動連接，所述滑塊的頂部固定安裝有固定塊，所述固定塊靠近托板的一側開設有通孔，所述通孔與掛鉤相適配，所述滑動槽內設有彈簧，所述彈簧的一端與滑動槽的內壁固定連接，所述彈簧的另一端與滑塊固定連接。

優(yōu)選的，所述安裝塊的頂部開設有轉動孔，所述轉動孔的內壁與內螺紋管轉動連接。

優(yōu)選的，所述內螺紋管的頂端延伸至轉動孔外并固定安裝有轉盤。

優(yōu)選的，所述滑動槽內固定安裝有滑動桿，所述滑動桿與滑塊滑動連接，且彈簧滑動套設在滑動桿的外側。

優(yōu)選的，所述固定塊的一側固定安裝有把手，所述把手位于通孔的上方。

優(yōu)選的，所述螺紋桿的頂端固定安裝有限位塊，所述彈簧的勁度系數(shù)為1N/m-2N/m。