[實用新型]一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201821782720.8
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN209128527U
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 唐安泰
• 申請（專利權）人: 株洲火炬安泰新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/30
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 任重;馮振寧

1.一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置，包括蒸鍍裝置本體（1），其特征在于：所述蒸鍍裝置本體（1）上開設有真空腔（2），所述真空腔（2）內設有基板支架（3），所述基板支架（3）與真空腔（2）的頂部內壁轉動連接，所述真空腔（2）的底部內壁上固定安裝有安裝座（4），所述安裝座（4）的頂部開設有安裝槽（5），所述安裝槽（5）內活動安裝有托板（6），所述托板（6）的兩側均固定安裝有安裝塊（7），所述安裝塊（7）上轉動安裝有內螺紋管（8），所述內螺紋管（8）內螺紋安裝有螺紋桿（9），所述螺紋桿（9）的頂端和低端均延伸至內螺紋管（8）外，所述螺紋桿（9）的底端固定安裝有掛鉤（10），所述安裝座（4）的頂部開設有兩個滑動槽（11），兩個滑動槽（11）為位于安裝槽（5）的兩側，所述滑動槽（11）內滑動安裝有滑塊（12），所述滑塊（12）的底部與滑動槽（11）的底部內壁滑動連接，所述滑塊（12）的頂部固定安裝有固定塊（13），所述固定塊（13）靠近托板（6）的一側開設有通孔（14），所述通孔（14）與掛鉤（10）相適配，所述滑動槽（11）內設有彈簧（15），所述彈簧（15）的一端與滑動槽（11）的內壁固定連接，所述彈簧（15）的另一端與滑塊（12）固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述安裝塊（7）的頂部開設有轉動孔，所述轉動孔的內壁與內螺紋管（8）轉動連接。

3.根據權利要求1所述的一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述內螺紋管（8）的頂端延伸至轉動孔外并固定安裝有轉盤。

4.根據權利要求1所述的一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述滑動槽（11）內固定安裝有滑動桿，所述滑動桿與滑塊（12）滑動連接，且彈簧（15）滑動套設在滑動桿的外側。

5.根據權利要求1所述的一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述固定塊（13）的一側固定安裝有把手，所述把手位于通孔（14）的上方。

6.根據權利要求1所述的一種電子束蒸鍍ITO膜的蒸鍍裝置，其特征在于：所述螺紋桿（9）的頂端固定安裝有限位塊，所述彈簧（15）的勁度系數為1N/m-2N/m。