[實(shí)用新型]一種ICP設(shè)備殘氣抽風(fēng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821770626.0
• 申請(qǐng)日: 2018-10-30
• 公開（公告）號(hào): CN208835018U
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 權(quán)亮亮;丁建峰;于玉齋;魏明德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 徐州同鑫光電科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 徐州市三聯(lián)專利事務(wù)所 32220
• 代理人: 周愛芳

本實(shí)用新型公開了一種ICP設(shè)備殘氣抽風(fēng)裝置，包括立風(fēng)管，水平風(fēng)管和風(fēng)機(jī)，所述立風(fēng)管下端與ICP設(shè)備的出氣口連接，其上端連接在所述水平風(fēng)管下側(cè)壁上且內(nèi)腔連通，所述風(fēng)機(jī)安裝在所述水平風(fēng)管的進(jìn)風(fēng)口上，啟動(dòng)所述風(fēng)機(jī)，其能夠?qū)⑦M(jìn)入所述水平管中殘氣從所述水平風(fēng)管的出風(fēng)口帶出。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中風(fēng)機(jī)工作時(shí)酸性氣體對(duì)風(fēng)機(jī)有腐蝕性，減少風(fēng)機(jī)使用壽命的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及生產(chǎn)pss的干法蝕刻設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種ICP設(shè)備殘氣抽風(fēng)裝置。

技術(shù)背景

PSS就是在平片藍(lán)寶石襯底上用標(biāo)準(zhǔn)的光刻工藝將掩膜刻出圖形，利用ICP刻蝕技術(shù)刻蝕藍(lán)寶石，并去掉掩膜，使平片藍(lán)寶石襯底上產(chǎn)生很多圖形，以此來提高LED的發(fā)光效率。

ICP設(shè)備干法蝕刻技術(shù)，是在真空密閉的PM Chamber內(nèi)，通過電極將BCL3氣體電離，電離出的離子轟擊藍(lán)寶石表面，以此來產(chǎn)生需要的圖形。這樣，隨著生產(chǎn)的進(jìn)行，PMChamber內(nèi)就會(huì)有BCL3氣體殘留，必要的設(shè)備保養(yǎng)或故障處理，在開PM Chamber時(shí)，BCL3氣體溢出，對(duì)作業(yè)者產(chǎn)生傷害。為了減少殘氣溢出對(duì)人身體的傷害，目前，一般做法是通過廠務(wù)的酸排氣管道以及接觸式風(fēng)機(jī)，可以抽走少量殘氣。但是，酸性氣體對(duì)風(fēng)機(jī)有腐蝕性，減少風(fēng)機(jī)使用壽命。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種ICP設(shè)備殘氣抽風(fēng)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中酸性氣體對(duì)風(fēng)機(jī)有腐蝕性，減少風(fēng)機(jī)使用壽命的問題。

為解決上述問題，本實(shí)用新型采取如下技術(shù)方案：一種ICP設(shè)備殘氣抽風(fēng)裝置，包括立風(fēng)管，水平風(fēng)管和風(fēng)機(jī)，所述立風(fēng)管下端與ICP設(shè)備的出氣口連接，其上端連接在所述水平風(fēng)管下側(cè)壁上且內(nèi)腔連通，所述風(fēng)機(jī)安裝在所述水平風(fēng)管的進(jìn)風(fēng)口上，啟動(dòng)所述風(fēng)機(jī)，其能夠?qū)⑦M(jìn)入所述水平管中殘氣從所述水平風(fēng)管的出風(fēng)口帶出。

進(jìn)一步地，所述風(fēng)機(jī)吹風(fēng)端與所述水平風(fēng)管的進(jìn)風(fēng)口密封固定連接。

進(jìn)一步地，所述風(fēng)機(jī)吹風(fēng)端和所述水平風(fēng)管的進(jìn)風(fēng)口通過法蘭盤和螺栓密封連接。

進(jìn)一步地，所述立風(fēng)管與所述水平風(fēng)管連通端在所述水平風(fēng)管出風(fēng)口和所述風(fēng)機(jī)之間，并且其靠近所述風(fēng)機(jī)。

進(jìn)一步地，所述立風(fēng)管為軟管，所述水平風(fēng)管為硬質(zhì)管。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果為：

通過將風(fēng)機(jī)外置，將風(fēng)機(jī)的吹風(fēng)端與水平風(fēng)管的進(jìn)風(fēng)口固定連接，使風(fēng)機(jī)不接觸酸性氣體，也能夠?qū)⒘L(fēng)管和水平風(fēng)管中酸性氣體從水平風(fēng)管出風(fēng)口吹出，從而減少酸性氣體對(duì)風(fēng)機(jī)的傷害，延長了使用壽命；還有本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，提高了效率，降低了成本。

附圖說明

附圖僅用于示出具體實(shí)施例的目的，而并不認(rèn)為是對(duì)本實(shí)用新型的限制。

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)圖。

圖中：1-立風(fēng)管，2-水平風(fēng)管，201-進(jìn)風(fēng)口，202-出風(fēng)口，3-風(fēng)機(jī)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做出進(jìn)一步說明，本實(shí)用新型實(shí)施方式包括但不限于下列實(shí)施例。

如圖1所示，本實(shí)用新型提供一種ICP設(shè)備殘氣抽風(fēng)裝置，包括立風(fēng)管1，水平風(fēng)管2和風(fēng)機(jī)3，立風(fēng)管1下端與ICP設(shè)備的真空密閉的PM Chamber的出氣口連接，立風(fēng)管1的上端與水平風(fēng)管2的下側(cè)壁連接且內(nèi)腔連通，風(fēng)機(jī)3密封固定安裝在水平風(fēng)管2的進(jìn)風(fēng)口201上，通過分別設(shè)置在進(jìn)風(fēng)口201和風(fēng)機(jī)吹風(fēng)端的周面上設(shè)置法蘭盤，并通過螺栓連接固定，還可再接觸面設(shè)置密封圈，增加密封性。立風(fēng)管1連接位置位于水平風(fēng)管2出風(fēng)口202和風(fēng)機(jī)3之間，并且靠近風(fēng)機(jī)3吹風(fēng)端。當(dāng)風(fēng)機(jī)3啟動(dòng)，其能夠?qū)⒘L(fēng)管1和水平風(fēng)管2中殘氣從水平風(fēng)管2的出風(fēng)口202帶出。