[實用新型]一種ICP設備殘氣抽風裝置有效
| 申請號： | 201821770626.0 | 申請日： | 2018-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN208835018U | 公開（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發明（設計）人： | 權亮亮;丁建峰;于玉齋;魏明德 | 申請（專利權）人： | 徐州同鑫光電科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 徐州市三聯專利事務所 32220 | 代理人： | 周愛芳 |
| 地址： | 221000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 風機 水平風管 殘氣 本實用新型 抽風裝置 風管 風機安裝 內腔連通 使用壽命 酸性氣體 出風口 出氣口 進風口 水平管 下側壁 上端 下端 | ||
【權利要求書】：
1.一種ICP設備殘氣抽風裝置，其特征在于：包括立風管，水平風管和風機，所述立風管下端與ICP設備的出氣口連接，其上端連接在所述水平風管下側壁上且內腔連通，所述風機安裝在所述水平風管的進風口上，啟動所述風機，其能夠將進入所述水平管中殘氣從所述水平風管的出風口帶出。
2.根據權利要求1所述的一種ICP設備殘氣抽風裝置，其特征在于：所述風機吹風端與所述水平風管的進風口密封固定連接。
3.根據權利要求2所述的一種ICP設備殘氣抽風裝置，其特征在于：所述風機吹風端和所述水平風管的進風口通過法蘭盤和螺栓密封連接。
4.根據權利要求1所述的一種ICP設備殘氣抽風裝置，其特征在于：所述立風管與所述水平風管連通端在所述水平風管出風口和所述風機之間，并且其靠近所述風機。
5.根據權利要求1至4中任一所述的一種ICP設備殘氣抽風裝置，其特征在于：所述立風管為軟管，所述水平風管為硬質管。
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