[實用新型]一種真空吸筆

有效

• 申請號: 201821768321.6
• 申請日: 2018-10-29
• 公開（公告）號: CN208819856U
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 孫超;任紅州
• 申請（專利權）人: 上海新昇半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 劉翔

1.一種真空吸筆，用于吸放硅片，其特征在于，包括手持部和吸盤，所述吸盤密封連接于所述手持部的一個端面上，所述吸盤為軟膜材質，所述吸盤遠離所述手持部的表面向內凹陷形成一吸氣槽，所述吸盤上開設有一與吸氣槽相連通的氣流通道，所述手持部上開設有一通氣孔，所述手持部的內部開設有一連通所述通氣孔和所述氣流通道的氣體通道。

2.如權利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于，所述手持部的材質為非金屬材質。

3.如權利要求2所述的一種真空吸筆，其特征在于，所述手持部的材質為PVC材質。

4.如權利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于，所述手持部沿垂直于其長度方向的截面形狀為圓形或橢圓形。

5.如權利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于，所述吸盤的材質為防靜電且不掛塵的軟膜材質。

6.如權利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于，所述吸盤的材質為硅膠材質。

7.如權利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于，所述吸盤的形狀為片狀或喇叭狀。

8.如權利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于，所述通氣孔位于所述手持部的側壁上。

9.如權利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于，所述通氣孔位于所述手持部的另一個端面上。

10.如權利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于，所述氣流通道的中心線與所述氣體通道的中心線共線。