[實用新型]便攜式無損藍膜芯片剝離機構

有效

• 申請號: 201821762799.8
• 申請日: 2018-10-27
• 公開（公告）號: CN208835025U
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 王波;章俊鋒;陳步尤;張曉紅
• 申請（專利權）人: 中山市良澤精密模具有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;B32B38/10
• 代理公司: 中山市捷凱專利商標代理事務所(特殊普通合伙) 44327
• 代理人: 楊連華

1.便攜式無損藍膜芯片剝離機構，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上設有固定支架(2)，所述固定支架(2)內設有固定于底座上的芯片剝離驅動機構(3)，所述固定支架(2)的上表面設有固定于固定支架上的頂針芯座(20)，所述頂針芯座(20)的上部可拆卸的安裝有由所述芯片剝離驅動機構(3)帶動沿固定支架上下移動的頂針執行機構(4)，所述頂針執行機構(4)內設有可從其內伸出用于使藍膜上的芯片與藍膜完成剝離的頂針(40)。

2.根據權利要求1所述的便攜式無損藍膜芯片剝離機構，其特征在于：所述芯片剝離驅動機構(3)包括設于固定支架(2)內的音圈電機(31)，所述音圈電機(31)包括固定于底座(1)上的音圈電機定子(311)和固定于音圈電機定子上的音圈電機動子(312)，所述音圈電機動子(312)與所述頂針芯座(20)之間設有與音圈電機動子(312)固定連接的縱向移動塊(32)，所述縱向移動塊(32)外側通過導軌(33)與安裝于底座上的讀數頭固定件(34)相連，所述縱向移動塊(32)的外側還安裝有光柵尺(35)，所述讀數頭固定件(34)上設有光柵讀數頭(36)。

3.根據權利要求2所述的便攜式無損藍膜芯片剝離機構，其特征在于：所述頂針執行機構(4)包括頂針帽座(41)和設于頂針帽座上的頂針帽(42)，所述頂針帽座(41)內設有固定于頂針芯座(20)上的頂針固定座(43)，所述頂針(40)固定于所述頂針固定座(43)上并可從頂針帽(42)頂部伸出孔伸出，所述縱向移動塊(32)上設有與頂針帽的頂針伸出孔連通用于外接真空氣路的接頭(320)，所述接頭(320)通過頂針帽頂部伸出孔吸附藍膜并在音圈電機(31)的作用下帶動頂針帽座(41)下降使頂針(40)伸出頂針帽(42)的上表面。

4.根據權利要求3所述的便攜式無損藍膜芯片剝離機構，其特征在于：所述縱向移動塊(32)上設有兩個大銷釘(321)和一通孔銷釘(322)，且兩個大銷釘(321)和一通孔銷釘(322)透過所述頂針芯座(20)的周孔伸出，所述頂針芯座(20)的中部設有一磁體(201)、和沿所述磁體外周設置的三個小銷釘(202)，所述頂針帽座(41)上還設有三個與頂針芯座上的磁體(201)配合吸附的小磁體，所述頂針帽座(41)通過大銷釘(321)、通孔銷釘(322)以及小磁體磁力吸附于縱向移動塊(32)，所述頂針固定座(43)通過磁體吸附及小銷釘定位安裝于頂針芯座(20)。

5.根據權利要求4所述的便攜式無損藍膜芯片剝離機構，其特征在于：所述頂針帽座(41)上對應所述通孔銷釘(322)的位置設有貫穿頂針帽座上下兩側的貫通孔，所述通孔銷釘(322)通過所述貫通孔與頂針帽(42)頂部伸出孔連通。

6.根據權利要求4所述的便攜式無損藍膜芯片剝離機構，其特征在于：所述頂針帽座(41)內位于所述頂針固定座(43)的上部設有用于導向頂針(40)的頂針導向板(44)，所述頂針導向板(44)包括頂針上導向板(441)和頂針下導向板(442)，所述頂針上導向板(441)通過螺釘固定于頂針帽座(41)的外表面，所述頂針下導向板(442)通過螺釘固定于頂針帽座(41)的內頂面。

7.根據權利要求2所述的便攜式無損藍膜芯片剝離機構，其特征在于：所述底座(1)包括移動底板(11)和固定底板(12)，所述移動底板(11)安裝于一可橫向或豎向移動的移動平臺上,所述固定底板(12)通過底板固定銷釘及壓緊彈簧固定于移動底板(11)上，所述音圈電機定子(311)固定于所述固定底板(12)。

8.根據權利要求7所述的便攜式無損藍膜芯片剝離機構，其特征在于：所述固定底板(12)與所述移動底板(11)之間設有用于將固定支架(2)調整至水平以保證頂針(40)與芯片垂直接觸的調平頂絲。