[實用新型]一種化學氣相沉積反應用加熱器有效
| 申請號： | 201821756831.1 | 申請日： | 2018-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN208933469U | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發明（設計）人： | 常強;肖學才;方明喜 | 申請（專利權）人： | 愛利彼半導體設備（中國）有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/44 | 分類號： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加熱管 加熱器本體 化學氣相沉積 加熱器 一體成型 本實用新型 加熱進氣口 加熱排氣口 加熱區域 螺旋形管 氣體加熱 氣體通過 便捷性 貫穿 隔離 分割 | ||
1.一種化學氣相沉積反應用加熱器，包括加熱器本體(1)，其特征在于：所述加熱器本體(1)包括第一加熱管(5)和第二加熱管(8)，所述第一加熱管(5)貫穿加熱器本體(1)的一端一體成型有第一加熱進氣口(6)，所述第一加熱管(5)貫穿加熱器本體(1)的另一端一體成型有第一加熱排氣口(7)，所述第二加熱管(8)安裝在第一加熱管(5)的內部，所述第二加熱管(8)貫穿第一加熱管(5)的一端一體成型有第二加熱進氣口(9)，所述第二加熱管(8)貫穿第一加熱管(5)的另一端一體成型有第二加熱排氣口(10)，所述第一加熱管(5)和第二加熱管(8)之間安裝有第一加熱電阻絲(11)。
2.根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積反應用加熱器，其特征在于：所述加熱器本體(1)還包括加熱器外殼體(2)、加熱器內殼體(3)和隔熱板(4)，所述隔熱板(4)填充在加熱器外殼體(2)和加熱器內殼體(3)之間，所述加熱器外殼體(2)和加熱器內殼體(3)均為桶裝結構。
3.根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積反應用加熱器，其特征在于：所述第一加熱管(5)和第二加熱管(8)均為螺旋形管狀結構，所述第一加熱電阻絲(11)螺旋環繞在第二加熱管(8)的外表面。
4.根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積反應用加熱器，其特征在于：所述第一加熱管(5)的外表面環繞有第二加熱電阻絲(12)，所述第二加熱電阻絲(12)設置有五個。
5.根據權利要求4所述的一種化學氣相沉積反應用加熱器，其特征在于：所述第二加熱電阻絲(12)為環形結構，五個所述第二加熱電阻絲(12)通過螺栓等間距固定在加熱器內殼體(3)的內表面。
6.根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積反應用加熱器，其特征在于：所述加熱器本體(1)靠近第一加熱進氣口(6)的表面貫通有第三加熱進氣口(13)，所述加熱器本體(1)靠近第一加熱排氣口(7)的表面貫通有第三加熱排氣口(14)。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
