[實用新型]一種具有紅外加熱裝置的陰極結構有效
| 申請號： | 201821746449.2 | 申請日： | 2018-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN208933464U | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發明（設計）人： | 華建軍;湛克宇 | 申請（專利權）人： | 惠州市天譽科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 惠州創聯專利代理事務所(普通合伙) 44382 | 代理人： | 趙瑾 |
| 地址： | 516227 廣東省惠州市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 紅外加熱裝置 陰極 靶材 靶臺 本實用新型 陰極結構 加熱件 座體 高質量薄膜 節約資源 兩側設置 實驗成本 外殼連接 鍍膜區 預濺射 鍍膜 制備 體內 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有紅外加熱裝置的陰極結構，包括靶臺，所述靶臺包括大體呈長方體的外殼、以及設置在所述外殼內的靶材，其特征在于，所述外殼上設有用于提升陰極溫度的紅外加熱裝置，所述紅外加熱裝置包括座體和加熱件，所述座體與所述外殼連接，所述加熱件固設在所述座體內。
2.根據權利要求1所述的具有紅外加熱裝置的陰極結構，其特征在于，所述座體包括連接端和開口端，所述連接端與所述外殼的側面連接，所述座體從連接端到開口端逐漸變寬，所述開口端形成有開口。
3.根據權利要求1所述的具有紅外加熱裝置的陰極結構，其特征在于，所述加熱件為紅外線燈管。
4.根據權利要求3所述的具有紅外加熱裝置的陰極結構，其特征在于，所述紅外線燈管為兩條，平行設置在所述座體內，紅外線燈管的兩端與座體的兩端可分離連接。
5.根據權利要求1所述的具有紅外加熱裝置的陰極結構，其特征在于，所述紅外加熱裝置的數量為兩個，分別設置在所述外殼較長一組對邊的外側。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于惠州市天譽科技有限公司，未經惠州市天譽科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201821746449.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
