[實(shí)用新型]半導(dǎo)體冷凍吸盤

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821743134.2
• 申請(qǐng)日: 2018-10-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208880564U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李占杰;黃旭棟;靳剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津職業(yè)技術(shù)師范大學(xué);無(wú)錫鑫旭潤(rùn)科技有限公司
• 主分類號(hào): B25B11/00
• 分類號(hào): B25B11/00
• 代理公司: 無(wú)錫市匯誠(chéng)永信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32260
• 代理人: 王闖;葛莉華

1.一種半導(dǎo)體冷凍吸盤，其特征在于，包括底座，所述底座呈中空結(jié)構(gòu)且內(nèi)置有安裝板，所述安裝板開(kāi)設(shè)有多個(gè)圓孔和長(zhǎng)形孔，

所述安裝板上自下而上依次設(shè)置有散熱盤、半導(dǎo)體組合片和導(dǎo)冷板，

所述散熱盤內(nèi)開(kāi)設(shè)有液體循環(huán)通道，所述圓孔和所述長(zhǎng)形孔連通所述液體循環(huán)通道，

所述半導(dǎo)體組合片包括第一半導(dǎo)體和第二半導(dǎo)體，所述第一半導(dǎo)體和所述第二半導(dǎo)體間隔設(shè)置且材料不同，

所述導(dǎo)冷板的上表面形成有多個(gè)儲(chǔ)液槽，所述儲(chǔ)液槽中容置有連接介質(zhì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體冷凍吸盤，其特征在于，所述圓孔陣列分布在所述安裝板上，所述長(zhǎng)形孔關(guān)于所述安裝板的中軸線對(duì)稱分布。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體冷凍吸盤，其特征在于，所述底座的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有多個(gè)流孔，所述流孔連通所述底座的內(nèi)部和所述底座的外部且位于所述安裝板的下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體冷凍吸盤，其特征在于，底座采用鋁板材一體加工制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體冷凍吸盤，其特征在于，所述液體循環(huán)通道有多組且呈迷宮式環(huán)形設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體冷凍吸盤，其特征在于，所述散熱盤上表面設(shè)置有溫控探頭，所述溫控探頭用于檢測(cè)所述半導(dǎo)體組合片的下表面的溫度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體冷凍吸盤，其特征在于，所述第一半導(dǎo)體為電子型半導(dǎo)體，所述第二半導(dǎo)體為空穴型半導(dǎo)體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體冷凍吸盤，其特征在于，所述第二半導(dǎo)體和所述導(dǎo)冷板之間設(shè)置有絕緣加熱絲。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體冷凍吸盤，其特征在于，還包括電控系統(tǒng)，所述電控系統(tǒng)電性連接所述第二半導(dǎo)體和所述絕緣加熱絲。