[實用新型]一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置

有效

• 申請號: 201821736904.0
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN208917256U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 王永超
• 申請（專利權）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號: C21D9/00
• 分類號: C21D9/00;C23C14/34
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 邊延松

本實用新型公開了一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，包括底板，所述底板頂部的左側固定連接有熱處理裝置本體，所述熱處理裝置本體的頂部設置有蓋板，所述熱處理裝置本體的頂部貫穿蓋板并延伸至蓋板的內部，所述蓋板的兩側均設置有螺栓，所述蓋板的底部固定連接有限位柱，所述限位柱的內壁滑動連接有滑動板。本實用新型通過設置底板、熱處理裝置本體、蓋板、螺栓、限位柱、滑動板、限位桿、定位孔、固定板、放置板、定位板、定位柱、固定塊和機箱的配合，使固定板與放置板上的靶材盒緊密接觸，防止靶材盒出現晃動的現象，從而達到了可以對靶材盒進行固定的效果，解決了現有的熱處理裝置不能對靶材盒進行固定的問題。

技術領域

本實用新型涉及靶材技術領域，具體為一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置。

背景技術

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應。例如：蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜、鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

在生產靶材時需要用到熱處理裝置，一般的熱處理裝置在開啟時都會出現震動的現象，但是現有的熱處理裝置的內部沒有固定板，導致使用者在開啟熱處理裝置靶材盒容易出現碰撞的現象，容易損毀靶材盒，從而降低了熱處理裝置的實用性。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，具備可以對靶材盒進行固定的優點，解決了現有的熱處理裝置不能對靶材盒進行固定的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，包括底板，所述底板頂部的左側固定連接有熱處理裝置本體，所述熱處理裝置本體的頂部設置有蓋板，所述熱處理裝置本體的頂部貫穿蓋板并延伸至蓋板的內部，所述蓋板的兩側均設置有螺栓，所述蓋板的底部固定連接有限位柱，所述限位柱的內壁滑動連接有滑動板，所述滑動板的底部固定連接有限位桿，所述限位桿的左側開設有定位孔，所述限位桿的底部固定連接有固定板，所述熱處理裝置本體內壁的底部固定連接有放置板，所述限位柱左側的底部設置有定位板，所述定位板的右側固定連接有定位柱，所述定位柱的右側依次貫穿限位柱和定位孔并延伸至限位柱的外部固定連接有固定塊，所述底板頂部的右側固定連接有機箱，所述機箱的輸出端與熱處理裝置本體電連接。

優選的，所述底板的底部固定連接有支撐柱，所述支撐柱的底部固定連接有支撐板。

優選的，所述蓋板的頂部固定連接有把手，所述把手的表面設置有防滑紋。

優選的，所述固定塊右側的頂部和底部均設置有限位栓，所述限位栓的左側貫穿固定塊并延伸至限位柱的內部。

優選的，所述熱處理裝置本體右側的底部固定連接有固定立板，所述固定立板的右側與機箱固定連接，所述固定立板的底部與底板固定連接。

優選的，所述固定板的兩側分別與熱處理裝置本體內壁的兩側接觸，所述固定板與熱處理裝置本體滑動連接。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型通過設置底板、熱處理裝置本體、蓋板、螺栓、限位柱、滑動板、限位桿、定位孔、固定板、放置板、定位板、定位柱、固定塊和機箱的配合，使固定板與放置板上的靶材盒緊密接觸，防止靶材盒出現晃動的現象，從而達到了可以對靶材盒進行固定的效果，解決了現有的熱處理裝置不能對靶材盒進行固定的問題，該可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，具備可以對靶材盒進行固定的優點，使用者在開啟熱處理裝置靶材盒不會出現碰撞的現象，防止損毀靶材盒，從而提高了熱處理裝置的實用性。