[實用新型]一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置

有效

• 申請號: 201821736904.0
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN208917256U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 王永超
• 申請（專利權）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號: C21D9/00
• 分類號: C21D9/00;C23C14/34
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 邊延松

1.一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）頂部的左側固定連接有熱處理裝置本體（2），所述熱處理裝置本體（2）的頂部設置有蓋板（3），所述熱處理裝置本體（2）的頂部貫穿蓋板（3）并延伸至蓋板（3）的內部，所述蓋板（3）的兩側均設置有螺栓（4），所述蓋板（3）的底部固定連接有限位柱（5），所述限位柱（5）的內壁滑動連接有滑動板（6），所述滑動板（6）的底部固定連接有限位桿（7），所述限位桿（7）的左側開設有定位孔（8），所述限位桿（7）的底部固定連接有固定板（9），所述熱處理裝置本體（2）內壁的底部固定連接有放置板（10），所述限位柱（5）左側的底部設置有定位板（11），所述定位板（11）的右側固定連接有定位柱（12），所述定位柱（12）的右側依次貫穿限位柱（5）和定位孔（8）并延伸至限位柱（5）的外部固定連接有固定塊（13），所述底板（1）頂部的右側固定連接有機箱（14），所述機箱（14）的輸出端與熱處理裝置本體（2）電連接。

2.根據權利要求1所述的一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，其特征在于：所述底板（1）的底部固定連接有支撐柱（15），所述支撐柱（15）的底部固定連接有支撐板（16）。

3.根據權利要求1所述的一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，其特征在于：所述蓋板（3）的頂部固定連接有把手（19），所述把手（19）的表面設置有防滑紋。

4.根據權利要求1所述的一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，其特征在于：所述固定塊（13）右側的頂部和底部均設置有限位栓（17），所述限位栓（17）的左側貫穿固定塊（13）并延伸至限位柱（5）的內部。

5.根據權利要求1所述的一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，其特征在于：所述熱處理裝置本體（2）右側的底部固定連接有固定立板（18），所述固定立板（18）的右側與機箱（14）固定連接，所述固定立板（18）的底部與底板（1）固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種可以對靶材盒進行固定的熱處理裝置，其特征在于：所述固定板（9）的兩側分別與熱處理裝置本體（2）內壁的兩側接觸，所述固定板（9）與熱處理裝置本體（2）滑動連接。