[實用新型]一種便于固定的半導(dǎo)體加工用固定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821734007.6
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN209119065U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王永超
• 申請（專利權(quán)）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 邊延松

1.一種便于固定的半導(dǎo)體加工用固定裝置，包括裝置本體（1）、升降裝置（3）和固定裝置（4），其特征在于：所述裝置本體（1）的上端面安裝有固定底座（2），所述固定底座（2）的正面設(shè)置有推塊（201），所述推塊（201）的內(nèi)側(cè)安裝有連接軸（202），所述固定底座（2）的內(nèi)側(cè)安裝有滑軌（204），所述連接軸（202）與滑軌（204）活動連接，所述固定底座（2）的上端面開設(shè)有兩個凹槽（205），所述固定底座（2）右側(cè)的外側(cè)壁安裝有開關(guān)（207），所述開關(guān)（207）左側(cè)的內(nèi)側(cè)連接有傳動桿（2071），所述傳動桿（2071）的左側(cè)連接有彈塊（2072），所述固定底座（2）的上端面安裝有升降裝置（3），所述升降裝置（3）位于凹槽（205）的左側(cè)，所述固定裝置（4）包括平衡架（401）和兩塊壓板（404），兩塊所述壓板（404）安裝在平衡架（401）的右側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的半導(dǎo)體加工用固定裝置，其特征在于：所述升降裝置（3）包括上銷座（303）、下銷座（301）和伸縮桿（302），所述上銷座（303）的正面安裝有卡槽（3031），所述上銷座（303）右側(cè)的外側(cè)壁安裝有與下銷座（301）外側(cè)壁開設(shè)的安裝槽相契合的凸塊（3032）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的半導(dǎo)體加工用固定裝置，其特征在于：所述彈塊（2072）的上端面安裝有承重板（206），所述承重板（206）與開關(guān)（207）通過傳動桿（2071）活動連接，所述承重板（206）位于兩個凹槽（205）之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的半導(dǎo)體加工用固定裝置，其特征在于：所述平衡架（401）兩側(cè)的邊緣處開設(shè)有通孔（402），所述通孔（402）的下端面卡合連接有通孔（402），所述平衡架（401）的兩側(cè)的外側(cè)壁安裝有與卡槽（3031）相匹配的滑塊（403）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的半導(dǎo)體加工用固定裝置，其特征在于：還包括支撐桿（5），所述支撐桿（5）的外側(cè)壁貫穿連接有放置架（501），所述放置架（501）兩側(cè)的邊緣處均安裝有凸板，所述放置架（501）為活動式結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的半導(dǎo)體加工用固定裝置，其特征在于：兩個所述連接軸（202）的上端面均安裝有擋板（203），所述擋板（203）的高度高于凹槽（205）的高度，所述擋板（203）的寬度等于凹槽（205）的寬度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于固定的半導(dǎo)體加工用固定裝置，其特征在于：所述壓板（404）的下端面活動連接有限位塊（405），所述限位塊（405）呈“矩形”結(jié)構(gòu)，所述限位塊（405）的內(nèi)側(cè)緊密貼合有橡膠墊。