[實用新型]一種高效的靶材加工用清洗裝置

有效

• 申請號: 201821734000.4
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN208991371U
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 王永超
• 申請（專利權）人: 河南東微電子材料有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00;F26B23/04
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 邊延松

本實用新型公開了一種高效的靶材加工用清洗裝置，屬于靶材加工清洗技術領域，其技術方案要點是，包括殼體、清洗腔室和烘干腔室，清洗腔室的內壁側壁固定連接有浸沒清洗器，浸沒清洗器包括超聲防水探頭和連接板，超聲防水探頭的右側固定連接有強化空心球，浸沒清洗器的一側設置有放置裝置，放置裝置包括固定板，固定板的上表面固定連接有檔條，檔條的兩側均對稱加工有卡槽，卡槽的底部與固定板的上表面相互焊接，清洗腔室的右側固定連接有隔板，烘干腔室的內側壁固定連接有烘干板，該清洗裝置通過設置清洗腔室使得靶材清洗更加高效，通過烘干腔室實現了烘干靶材的效果，便利了整個靶材加工工作。

技術領域

本實用新型涉及靶材加工清洗技術領域，特別涉及一種高效的靶材加工用清洗裝置。

背景技術

眾所周知，靶材材料的技術發展趨勢與下游應用產業的薄膜技術發展趨勢息息相關，隨著應用產業在薄膜產品或元件上的技術改進，靶材技術也應隨之變化，靶材材質分為金屬靶材、陶瓷靶材和合金靶材，而金屬合金靶材在加工過程中為保證靶材的質量通常需要進行相應清洗處理。

靶材的清洗直接決定了靶材表面的潔凈度，干凈優質的靶材能夠有效提高靶材的使用效率，目前一般的靶材清洗是通過人工進行清洗，人工清洗靶材會導致清洗不干凈且留有水印，現有的人工清洗靶材產生了清洗效率低下和無法及時烘干靶材的問題。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供一種高效的靶材加工用清洗裝置，解決現有人工清洗靶材所帶來的清洗效率低下和無法及時烘干靶材的問題。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種高效的靶材加工用清洗裝置，包括殼體、清洗腔室和烘干腔室，所述清洗腔室的內壁側壁固定連接有浸沒清洗器，所述浸沒清洗器包括超聲防水探頭和連接板，所述超聲防水探頭的右側固定連接有強化空心球，所述超聲防水探頭和連接板通過強化空心球相互連接，所述連接板與清洗腔室內側壁通過螺栓固定連接，所述浸沒清洗器的一側設置有放置裝置，所述放置裝置包括固定板和腳柱，所述固定板的上表面固定連接有若干個檔條，若干個所述檔條的兩側均對稱加工有卡槽，所述卡槽的底部與固定板的上表面相互焊接，所述腳柱的一端與固定板的底部固定連接，所述腳柱的另一端與清洗腔室的內壁底部固定連接，所述清洗腔室的右側固定連接有隔板，所述清洗腔室與烘干腔室通過隔板相互隔開，所述隔板的右側固定連接有烘干板。

優選的，所述烘干板設置有上下兩組，且烘干板的上表面開設有加溫區，所述烘干板的邊緣固定連接有導管，所述烘干板與烘干腔室通過導管固定連接。

優選的，所述殼體的左側壁固定連接有排液管，所述殼體的右側壁開設有出線口，所述排液管的一端與清洗腔室的左側底部相互插接。

優選的，所述浸沒清洗器共設置有兩組，且兩組浸沒清洗器關于放置裝置對稱分布，所述浸沒清洗器設置在略高于放置裝置的位置。

優選的，所述卡槽總共設置有三組，且三組卡槽關于檔條對稱分布，所述卡槽呈“凹形”狀。

優選的，所述清洗腔室的頂部設置有蓋板，且蓋板的面積等于殼體上表面面積的一半，所述蓋板的一端與殼體通過鉸鏈活動連接。

優選的，所述烘干腔室的正面設置有開啟門，且開啟門的面積等于殼體側面面積的一半，所述開啟門的一端與殼體通過鉸鏈活動連接。

綜上所述，本實用新型具有以下有益效果：

1、該種高效的靶材加工用清洗裝置，清洗腔室的內壁側壁固定連接有浸沒清洗器，浸沒清洗器包括超聲防水探頭和連接板，超聲防水探頭的右側固定連接有強化空心球，超聲防水探頭和連接板通過強化空心球相互連接，清洗腔室內注入清洗液后，超聲防水探頭進行超聲波清洗靶材，經強化空心球強化的聲波在清洗液中能夠更加迅速高效的清洗靶材，通過在清洗液中的浸沒清洗器，提高了靶材在加工過程中的清洗效率，節約了人力。