[實用新型]一種高效的靶材加工用清洗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821734000.4 | 申請日： | 2018-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN208991371U | 公開（公告）日： | 2019-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王永超 | 申請（專利權(quán)）人： | 河南東微電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12;B08B13/00;F26B23/04 |
| 代理公司： | 鄭州浩翔專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人： | 邊延松 |
| 地址： | 450000 河南省鄭州市鄭州航空港區(qū)*** | 國省代碼： | 河南;41 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 靶材加工 清洗腔室 烘干腔室 清洗裝置 固定板 清洗器 浸沒 放置裝置 上表面 探頭 靶材 超聲 檔條 卡槽 防水 隔板 技術(shù)方案要點 本實用新型 對稱加工 清洗技術(shù) 烘干板 空心球 連接板 內(nèi)側(cè)壁 烘干 側(cè)壁 殼體 內(nèi)壁 焊接 清洗 便利 | ||
1.一種高效的靶材加工用清洗裝置，包括殼體（1）、清洗腔室（2）和烘干腔室（3），其特征在于：所述清洗腔室（2）的內(nèi)壁側(cè)壁固定連接有浸沒清洗器（5），所述浸沒清洗器（5）包括超聲防水探頭（51）和連接板（53），所述超聲防水探頭（51）的右側(cè)固定連接有強化空心球（52），所述超聲防水探頭（51）和連接板（53）通過強化空心球（52）相互連接，所述連接板（53）與清洗腔室（2）內(nèi)側(cè)壁通過螺栓固定連接，所述浸沒清洗器（5）的一側(cè)設(shè)置有放置裝置（4），所述放置裝置（4）包括固定板（41）和腳柱（44），所述固定板（41）的上表面固定連接有若干個檔條（42），若干個所述檔條（42）的兩側(cè)均對稱加工有卡槽（43），所述卡槽（43）的底部與固定板（41）的上表面相互焊接，所述腳柱（44）的一端與固定板（41）的底部固定連接，所述腳柱（44）的另一端與清洗腔室（2）的內(nèi)壁底部固定連接，所述清洗腔室（2）的右側(cè)固定連接有隔板（7），所述清洗腔室（2）與烘干腔室（3）通過隔板（7）相互隔開，所述隔板（7）的右側(cè)固定連接有烘干板（8）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效的靶材加工用清洗裝置，其特征在于：所述烘干板（8）設(shè)置有上下兩組，且烘干板（8）的上表面開設(shè)有加溫區(qū)（81），所述烘干板（8）的邊緣固定連接有導(dǎo)管（82），所述烘干板（8）與烘干腔室（3）通過導(dǎo)管（82）固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效的靶材加工用清洗裝置，其特征在于：所述殼體（1）的左側(cè)壁固定連接有排液管（6），所述殼體（1）的右側(cè)壁開設(shè)有出線口（9），所述排液管（6）的一端與清洗腔室（2）的左側(cè)底部相互插接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效的靶材加工用清洗裝置，其特征在于：所述浸沒清洗器（5）共設(shè)置有兩組，且兩組浸沒清洗器（5）關(guān)于放置裝置（4）對稱分布，所述浸沒清洗器（5）設(shè)置在略高于放置裝置（4）的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效的靶材加工用清洗裝置，其特征在于：所述卡槽（43）總共設(shè)置有三組，且三組卡槽（43）關(guān)于檔條（42）對稱分布，所述卡槽（43）呈“凹形”狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效的靶材加工用清洗裝置，其特征在于：所述清洗腔室（2）的頂部設(shè)置有蓋板（21），且蓋板（21）的面積等于殼體（1）上表面面積的一半，所述蓋板（21）的一端與殼體（1）通過鉸鏈活動連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效的靶材加工用清洗裝置，其特征在于：所述烘干腔室（3）的正面設(shè)置有開啟門（31），且開啟門（31）的面積等于殼體（1）側(cè)面面積的一半，所述開啟門（31）的一端與殼體（1）通過鉸鏈活動連接。
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