[實用新型]一種超高真空系統傳樣裝置

有效

• 申請號: 201821731550.0
• 申請日: 2018-10-24
• 公開（公告）號: CN209148706U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 騰安芝;金龍釗
• 申請（專利權）人: 安徽泰臻真空科技有限公司
• 主分類號: G01N35/04
• 分類號: G01N35/04
• 代理公司: 北京開林佰興專利代理事務所(普通合伙) 11692
• 代理人: 張瑞玲

本實用新型公開了一種超高真空系統傳樣裝置，包括真空腔，分別與真空腔密封連接的手閥、離子泵、傳樣設備和觀察窗，所述真空腔內設置有樣品架，真空腔上安裝有連接并控制樣品架升降和轉動的二維調節機構，樣品架包括中心軸和安裝板，中心軸外表面與安裝板固定連接，安裝板高度方向與中心軸軸向平行，安裝板為多個且沿中心軸周向均勻排布，每個安裝板上沿其高度方向設有依次排布的多個窗口，樣品架升降和轉動狀態下，將不同窗口切換至手閥與傳樣設備的中心連線上，用于樣品存?。槐緦嵱眯滦屯ㄟ^切換各安裝板的位置，實現多組樣品的存取。

技術領域

本實用新型屬于真空設備技術領域，具體是涉及一種超高真空系統傳樣裝置。

背景技術

超高真空系統是指在人造超高真空環境下，對不同類型的樣品進行生長、表征和測量的系統；樣品在超高真空系統中制備完成后，為了保證其性質穩定，通常需要在不破壞超高真空的環境中進行測試和分析；樣品轉移的方法一般為：先在真空腔內通入惰性氣體做保護氣，再將樣品取出并快速放入干凈的樣品盒或真空箱中；或者先在樣品上鍍上一層保護膜再拿出等；每種方法都不能避免“開腔取樣”這一操作步驟，使樣品暴露于非真空的氣體環境，導致氣體吸附到樣品表面，都會一定程度的污染樣品；目前，還沒有一種能夠在不破壞超高真空環境的前提下，實現樣品在不同超高真空系統間轉移的便攜式設備。

中國實用新型專利《一種超高真空樣品轉移設備》（公開號：203849265U；公開日：2014年9月24日）中公開了一種超高真空樣品轉移設備，其包括樣品轉移腔；樣品轉移腔包括真空腔，分別與真空腔密封連接的手閥、離子泵、傳樣設備、儲藏室、觀察窗和密封裝置，其中，傳樣設備包括用于夾緊樣品并控制樣品移動和轉動的磁力傳樣桿，樣品儲藏室包括：用于存放樣品的柱形腔體和控制樣品移動的可升降樣品臺；通過分析可知，該超高真空樣品轉移設備通過操作可升降樣品臺，將一組樣品沿高度方向疊放在柱形腔體內，導致該超高真空樣品轉移設備能夠儲存及傳遞的樣品有限。

發明內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種超高真空系統傳樣裝置，通過樣品架的升降和轉動，將不同窗口切換至手閥與傳樣設備的中心連線上，實現多組樣品的存取，從而提高本實用新型的工作效率。

為了達到上述目的，本實用新型一種超高真空系統傳樣裝置，包括真空腔，分別與真空腔密封連接的手閥、離子泵、傳樣設備和觀察窗，所述真空腔內設置有樣品架，真空腔上安裝有連接并控制樣品架升降和轉動的二維調節機構，樣品架包括中心軸和安裝板，中心軸外表面與安裝板固定連接，安裝板高度方向與中心軸軸向平行，安裝板為多個且沿中心軸周向均勻排布，每個安裝板上沿其高度方向設有依次排布的多個窗口，樣品架升降和轉動狀態下，將不同窗口切換至手閥與傳樣設備的中心連線上，用于樣品存取。

進一步，所述樣品架還包括托板，托板水平穿過窗口且與窗口下側邊固定連接，每個窗口對應一個托板，托板用于托放樣品。

進一步，所述安裝板為四個。

進一步，所述傳樣設備和二維調節機構均為磁力傳樣桿，傳樣設備具有與真空腔密封連接的第一外管和伸入真空腔內部的第一驅動管，二維調節機構具有與真空腔密封連接的第二外管和伸入真空腔內部的第二驅動管。

進一步，所述手閥和傳樣設備分別對應在真空腔左右兩側，離子泵和觀察窗分別對應在真空腔前后兩側，二維調節機構密封連接于真空腔上側，中心軸上端與第二驅動管下端固定連接。

本實用新型的有益效果在于：

1.本實用新型一種超高真空系統傳樣裝置有利于提高工作效率；這里，每個安裝板對應一組樣品；通過樣品架的升降，實現同一組樣品中不同樣品存儲；通過樣品架的轉動，切換各安裝板的位置，實現不同組樣品存儲。

2.本實用新型一種超高真空系統傳樣裝置進一步優化了整體結構；這里，每個窗口對應一個托板，通過托板托放樣品，因此，安裝板的厚度可以進一步降低，從而降低本實用新型整體的重量。