[實用新型]一種超高真空系統傳樣裝置

有效

• 申請號: 201821731550.0
• 申請日: 2018-10-24
• 公開（公告）號: CN209148706U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 騰安芝;金龍釗
• 申請（專利權）人: 安徽泰臻真空科技有限公司
• 主分類號: G01N35/04
• 分類號: G01N35/04
• 代理公司: 北京開林佰興專利代理事務所(普通合伙) 11692
• 代理人: 張瑞玲

1.一種超高真空系統傳樣裝置，包括真空腔，分別與真空腔密封連接的手閥、離子泵、傳樣設備和觀察窗，其特征在于：所述真空腔內設置有樣品架，真空腔上安裝有連接并控制樣品架升降和轉動的二維調節機構，樣品架包括中心軸和安裝板，中心軸外表面與安裝板固定連接，安裝板高度方向與中心軸軸向平行，安裝板為多個且沿中心軸周向均勻排布，每個安裝板上沿其高度方向設有依次排布的多個窗口，樣品架升降和轉動狀態下，將不同窗口切換至手閥與傳樣設備的中心連線上，用于樣品存取。

2.如權利要求1所述的一種超高真空系統傳樣裝置，其特征在于：所述樣品架還包括托板，托板水平穿過窗口且與窗口下側邊固定連接，每個窗口對應一個托板，托板用于托放樣品。

3.如權利要求1或2所述的一種超高真空系統傳樣裝置，其特征在于：所述安裝板為四個。

4.如權利要求1或2所述的一種超高真空系統傳樣裝置，其特征在于：所述傳樣設備和二維調節機構均為磁力傳樣桿，傳樣設備具有與真空腔密封連接的第一外管和伸入真空腔內部的第一驅動管，二維調節機構具有與真空腔密封連接的第二外管和伸入真空腔內部的第二驅動管。

5.如權利要求4所述的一種超高真空系統傳樣裝置，其特征在于：所述手閥和傳樣設備分別對應在真空腔左右兩側，離子泵和觀察窗分別對應在真空腔前后兩側，二維調節機構密封連接于真空腔上側，中心軸上端與第二驅動管下端固定連接。