[實用新型]一種化學機械拋光設備用拋光液供給裝置

有效

• 申請號: 201821727110.8
• 申請日: 2018-10-24
• 公開（公告）號: CN208895895U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 肖學才;方明喜;常強
• 申請（專利權）人: 愛利彼半導體設備（中國）有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B24B37/015
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種化學機械拋光設備用拋光液供給裝置，其特征在于：包括原液儲存罐、去離子水儲存罐、拋光液供給罐，所述原液儲存罐、去離子水儲存罐通過輸送泵、電磁三通調節閥、流量計與所述拋光液供給罐的入液口相連接；所述拋光液供給罐的上部設置有蓋體，所述蓋體上設置有攪拌電機，所述攪拌電機的輸出軸穿過所述蓋體與拋光液供給罐內的攪拌軸相連接，所述攪拌軸上均勻間隔設置有多組攪拌葉片，其中至少一組所述攪拌葉片朝下傾斜設置；所述拋光液供給罐內設置有水位計、溫度傳感器、拋光液濃度傳感器，所述拋光液供給罐內側底壁上設置有電加熱器；所述拋光液供給罐的外壁還緊密纏繞有制冷盤管，所述制冷盤管外部設置有保溫套，還包括壓縮機、冷凝器、節流裝置，所述制冷盤管的出口與壓縮機的入口相連接，所述壓縮機的出口依次與冷凝器、節流裝置相連接，所述節流裝置的出口與制冷盤管的入口相連接；還包括控制器，所述控制器分別與所述輸送泵、電磁三通調節閥、流量計、攪拌電機、電加熱器、水位計、溫度傳感器、拋光液濃度傳感器、壓縮機相連接。

2.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備用拋光液供給裝置，其特征在于：所述攪拌電機還與變頻調速器相連接。

3.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備用拋光液供給裝置，其特征在于：所述拋光液供給罐還包括出液口，與所述出液口相連的管道上設置有拋光液供給泵。

4.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備用拋光液供給裝置，其特征在于：所述節流裝置為毛細管或者膨脹閥。

5.根據權利要求1所述的化學機械拋光設備用拋光液供給裝置，其特征在于：所述壓縮機為變頻壓縮機。