[實用新型]一種插片機裝載花籃

有效

• 申請號: 201821709604.3
• 申請日: 2018-10-22
• 公開（公告）號: CN208738202U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發明（設計）人: 施賢全;周炎;王海慶
• 申請（專利權）人: 鎮江環太硅科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 任立;艾中蘭

本實用新型公開一種插片機裝載花籃，由底板、背板和兩側板組成，其特征在于：所述花籃入口處兩側板內側棱上倒有凹陷的圓角，凹陷的圓角面作為插片時側噴水柱的直接沖擊面，使側噴水柱發生變向后噴向硅片，降低了沖擊強度，減少了硅片隱裂或碎片。

技術領域

本實用新型涉及一種應用于金剛線切片后多晶硅片插片時所用的裝載花籃。

背景技術

插片機是將多晶硅片在清洗前從裝載花籃裝入清洗籃的設備。如圖1所示，現有插片機裝載花籃主要由底板1、背板2和兩側側板3組成，頂部用一個框架4固定，中間形成裝載插片的空間。裝載花籃內徑為159mm，硅片尺寸為157mm，裝載空間只有2mm，硅片在裝載進花籃時容易碰撞到兩側擋板，引起隱裂或碎片。

在插片過程中，會利用側噴水柱對準硅片兩側面噴水，以使硅片側面受力，在水的作用下，硅片容易分離，保證插片過程中不會連片或雙片。

但是，側噴水柱直接對準硅片側面，會因為長時間沖擊引起隱裂或碎片，不對準硅片側面又不能使硅片很好的地分開。而且，插片時，除了需要對硅片側面進行側噴，還要從硅片底面往上噴，來托起硅片，噴水小了不能托起硅片，因此插片機的噴水量是固定的。

發明內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的缺陷，提供一種插片機裝載花籃，減少插片時硅片的隱裂或碎片。

本實用新型具體采用如下技術方案：

一種插片機裝載花籃，主要由底板、背板和兩側板組成，其特征在于：所述花籃入口處兩側板內側棱上倒有凹陷的圓角，凹陷的圓角面作為插片時側噴水柱的直接沖擊面，使側噴水柱發生變向后噴向硅片側面。

優選地，所述兩側板中至少一側板可拆卸。

優選地，所述圓角面使側噴水柱發生變向后垂直噴向硅片側面。

本實用新型通過對現有裝載花籃進行簡單的結構改造，在不影響插片分離效果的前提下，降低了側噴水柱直沖硅片側面對硅片的沖擊強度，能夠有效地解決側噴水柱長時間沖擊、沖擊力度強造成硅片隱裂或碎片的問題，提高了成品率。

在本實用新型進一步的技術方案中，裝載花籃至少一側板采用可拆卸的結構，在裝載硅片時，可以將側板拆卸后再放入硅片，等硅片放置完畢后，再將側板裝上去，可以避免裝入時硅片剮蹭側板，減少硅片隱裂或碎片。

附圖說明

圖1是現有裝載花籃結構示意圖。

圖2是本實用新型裝載花籃結構示意圖及圓角局部放大圖。

圖3是側板拆卸示意圖。

圖4是側噴水柱沖擊倒角面示意圖（箭頭表示水柱方向）。

具體實施方式

實施例一

如圖2所示，裝載花籃主要由底板1、背板2和兩側板3組成，頂部用一個框架4固定，可以一體化制造而成，也可以組裝而成，組裝形式根據花籃材質進行適應性選擇。本實施例花籃采用金屬材質，底板、背板、側板、頂部框架焊接在一起或用螺絲等方式緊固，中間形成裝載硅片的空間。與現有的裝載花籃不同在于，花籃入口處兩側板的內側棱上倒有凹陷的圓角5。如圖4所示，在插片時，凹陷的圓角面作為側噴水柱的直接沖擊面，使側噴水柱不是直接沖擊硅片側面，而是沖擊到圓角面上發生變向后噴向硅片側面。理想情況下，水柱發生變向后，垂直噴向硅片的側面效果最佳。側噴水柱的噴射角度以及凹陷圓角面的形式，可以根據上述要求來調整匹配，本領域技術人員在本實用新型技術方案的教導下，經過簡單的實驗，即可實現。由此，在側噴水量一定的條件下，可以降低側噴水柱對硅片兩側面的沖擊強度，降低隱裂或碎片的風險。

實施例二