[實用新型]用于片材連續沉積涂層的夾具及沉積裝置

有效

• 申請號: 201821708429.6
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209194057U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 唐永炳;陳波;王陶;孟醒
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/54
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

本實用新型提供了一種用于片材連續沉積涂層的夾具及沉積裝置，涉及涂層沉積輔助設備技術領域。該夾具包括傳動單元、第一樣品臺和若干個支座，第一樣品臺用于裝載待沉積的片材，若干個支座位于第一樣品臺的下方用于支撐第一樣品臺，傳動單元在外界驅動下能夠帶動第一樣品臺連續進給；該夾具可連續沉積片材面積大于沉積裝置有效沉積范圍的片材，極大得減少了沉積過程的一些中間步驟，大大提高了沉積效率、縮短了生產周期，降低了生產成本，同時減弱了頻繁更換片材時對熱絲造成的不利影響，延長了熱絲的使用壽命，從而進一步降低了生產成本。本實用新型還提供一種沉積裝置，包括爐體，上述用于片材連續沉積涂層的夾具位于爐體內并對片材進行裝載。

技術領域

本實用新型涉及涂層沉積輔助設備技術領域，尤其是涉及一種用于片材連續沉積涂層的夾具及沉積裝置。

背景技術

在熱絲氣相沉積法制備片材涂層的工藝中，受限于現有沉積裝置的結構，每次沉積操作時往往只能放入單片片材于沉積裝置內，且單片片材的面積小于或者等于沉積裝置的有效沉積面積，即一爐一片逐片沉積。這種工藝操作存在以下問題：

(1)每沉積完一片片材，都需要打開設備重新裝載下一片，每次裝載都要重新抽真空，而抽真空的時間占整個生產時間的五分之一左右；

(2)通常在更換片材的過程中，熱絲由高溫冷卻至室溫極易斷裂，需要重新更換熱絲，且熱絲(鉭絲)的價格比較貴，經常更換熱絲不利于降低生產成本；

(3)對于待沉積面積大于沉積裝置的有效沉積面積的片材，不便處理。

由此可知，一爐一片逐片沉積的方式沉積效率低，產量低，工人勞動強度大，生產成本高。有鑒于此，特提出本實用新型能夠解決上述問題中的至少一個。

實用新型內容

本實用新型的第一目的在于提供一種用于片材連續沉積涂層的夾具，在不改變沉積裝置的基本結構條件下，利用該夾具可連續沉積片材面積大于沉積裝置有效沉積范圍的片材，極大的減少了一些中間過程，有利于提高沉積效率和降低生產成本。

本實用新型的第二目的在于提供一種沉積裝置，使用上述用于片材連續沉積涂層的夾具進行沉積操作，使用該沉積裝置能夠對片材進行連續沉積，沉積效率高、生產周期短，同時也降低了生產成本。

為解決上述技術問題，本實用新型特采用如下技術方案：

本實用新型提供了一種用于片材連續沉積涂層的夾具，包括傳動單元、第一樣品臺和若干個支座；

所述第一樣品臺用于裝載待沉積的片材，若干個所述支座位于所述第一樣品臺的下方用于支撐所述第一樣品臺；

所述傳動單元能夠在外界驅動下帶動所述第一樣品臺連續進給。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一樣品臺包括傳動部；

所述傳動單元包括第一傳動件和第二傳動件，所述第一傳動件能夠在外界驅動下轉動，并帶動所述第二傳動件轉動，所述第二傳動件用于驅動所述傳動部運動。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第二傳動件為齒輪，所述傳動部為與所述第二傳動件相配合的齒條。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一傳動件為齒輪、皮帶輪或鏈輪。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一樣品臺上設置有若干個墊塊，所述墊塊用于調節片材與熱絲之間的距離。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述支座為陶瓷絕緣支座。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一傳動件和第二傳動件均為銅質傳動件。