[實用新型]用于片材連續沉積涂層的夾具及沉積裝置有效
| 申請號： | 201821708429.6 | 申請日： | 2018-10-19 |
| 公開（公告）號： | CN209194057U | 公開（公告）日： | 2019-08-02 |
| 發明（設計）人： | 唐永炳;陳波;王陶;孟醒 | 申請（專利權）人： | 深圳先進技術研究院 |
| 主分類號： | C23C16/458 | 分類號： | C23C16/458;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 逯恒 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 片材 夾具 樣品臺 沉積裝置 連續沉積 本實用新型 傳動單元 沉積 熱絲 生產成本 裝載 生產周期 沉積效率 輔助設備 連續進給 使用壽命 涂層沉積 有效沉積 中間步驟 爐體 體內 驅動 支撐 | ||
1.一種用于片材連續沉積涂層的夾具，其特征在于，包括傳動單元、第一樣品臺和若干個支座；
所述第一樣品臺用于裝載待沉積的片材，若干個所述支座位于所述第一樣品臺的下方用于支撐所述第一樣品臺；
所述傳動單元能夠在外界驅動下帶動所述第一樣品臺連續進給。
2.根據權利要求1所述的用于片材連續沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一樣品臺包括傳動部；
所述傳動單元包括第一傳動件和第二傳動件，所述第一傳動件能夠在外界驅動下轉動，并帶動所述第二傳動件轉動，所述第二傳動件用于驅動所述傳動部運動。
3.根據權利要求2所述的用于片材連續沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第二傳動件為齒輪，所述傳動部為與所述第二傳動件相配合的齒條。
4.根據權利要求2所述的用于片材連續沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一傳動件為齒輪、皮帶輪或鏈輪。
5.根據權利要求1-4任意一項所述的用于片材連續沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一樣品臺上設置有若干個墊塊，所述墊塊用于調節片材與熱絲之間的距離。
6.根據權利要求1-4任意一項所述的用于片材連續沉積涂層的夾具，其特征在于，所述支座為陶瓷絕緣支座。
7.根據權利要求2-4任意一項所述的用于片材連續沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一傳動件和第二傳動件均為銅質傳動件。
8.一種沉積裝置，其特征在于，包括爐體，權利要求1-7任意一項所述的用于片材連續沉積涂層的夾具位于所述爐體內部并用于片材進行裝載。
9.根據權利要求8所述的沉積裝置，其特征在于，所述夾具與所述爐體可拆卸固定連接。
10.根據權利要求8或9所述的沉積裝置，其特征在于，所述爐體內部設有襯底平臺，所述襯底平臺上設有第二樣品臺和至少兩個熱絲固定架，所述熱絲固定架相對設置且通過電極柱與所述襯底平臺連接，所述熱絲固定架之間設置有熱絲，所述第二樣品臺為可旋轉樣品臺且位于所述熱絲固定架的下方；
所述夾具的所述支座套設在所述電極柱上并對所述第一樣品臺進行支撐，所述第二樣品臺能夠帶動所述夾具的所述傳動單元運動。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
