[實用新型]用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具及沉積裝置

有效

• 申請號: 201821708390.8
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209194056U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 唐永炳;孟醒;陳波;王陶
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/27
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 齊云

本實用新型提供了一種用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具及沉積裝置，涉及涂層沉積輔助設備技術領域。該夾具包括傳動單元和夾持單元，夾持單元用于裝載摻雜源，傳動單元與夾持單元連接，且傳動單元能夠帶動夾持單元沿豎向運動，該夾具可調整摻雜源與熱絲之間的距離，實現待摻雜物質摻雜量的靈活調節，從而實現待摻雜物質的梯度摻雜，改善了現有沉積過程中摻雜源與熱絲之間的距離無法調節，從而導致待摻雜物摻雜量無法靈活調節的缺陷；該夾具結構簡單，操作方便，且不會改變沉積裝置原有的結構和部件，為在片材上沉積摻雜涂層提供了工業依據。本實用新型還提供一種沉積裝置，包括爐體和上述夾具，夾具位于爐體內并對摻雜源進行裝載。

技術領域

本實用新型涉及涂層沉積輔助設備技術領域，尤其是涉及一種用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具及沉積裝置。

背景技術

隨著化學氣相沉積金剛石技術的發展，越來越多的企業、科研院所對該項技術進行了系統的研究，其中一個研究的重要方面就是對金剛石進行摻雜，從而改變金剛石的力學、熱學、電學、光學等方面的特性，使其具有更廣闊的用途。金屬摻雜能夠有效改善涂層的內應力，改善膜基結合力。在進行金屬摻雜時往往需要專門的夾具來固定金屬摻雜源，金屬摻雜源的位置(所處溫度場)對于摻雜量有重要影響。研究表明，當基體與熱絲的距離一定時，金屬摻雜源離熱絲越近，沉積得到的金剛石中的金屬摻雜量越多，而金屬摻雜源離熱絲越遠，沉積得到的金剛石中的金屬摻雜量越少。

現有的金屬摻雜裝置是直接將金屬摻雜源固定于熱絲下方一定距離處，在沉積過程中無法實現摻雜源與熱絲距離的調節，故金屬摻雜量不可調節，也不能實現金屬的梯度摻雜。

有鑒于此，特提出本實用新型能夠解決上述問題中的至少一個。

實用新型內容

本實用新型的第一目的在于提供一種用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具，在不改變沉積裝置的基本結構的基礎上，利用該夾具可調整摻雜源與熱絲之間的距離，從而實現待摻雜物摻雜量的靈活調節，進而實現待摻雜物的梯度摻雜。

本實用新型的第二目的在于提供一種沉積裝置，使用上述用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具進行沉積摻雜操作，能夠靈活調節待摻雜物摻雜量，實現待摻雜物的梯度摻雜。

為解決上述技術問題，本實用新型特采用如下技術方案：

本實用新型提供了一種用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具，包括傳動單元和夾持單元；

所述夾持單元用于裝載摻雜源，所述傳動單元與所述夾持單元連接，且所述傳動單元能夠在外界驅動下帶動所述夾持單元沿豎向運動。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述夾持單元包括夾持部和夾頭，所述摻雜源通過所述夾頭裝載在所述夾持部上。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述傳動單元包括傳動件和轉軸，所述傳動件套設于所述轉軸上并與所述轉軸同軸運動，所述轉軸上設有外螺紋；

所述夾持部上設置與所述轉軸螺紋連接的螺孔；所述夾持部連接有用于限制其繞所述轉軸轉動的限位件。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述傳動單元包括傳動件和固定軸，所述固定軸上設有外螺紋，所述傳動件設有與所述固定軸螺紋連接的螺孔；

所述夾持部與所述傳動件樞接，且能隨所述傳動件同步升降；所述夾持部連接有限制其周向轉動的限位件。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述傳動單元包括傳動件、轉軸和固定軸，所述固定軸上設有外螺紋，所述轉軸設有與所述固定軸螺紋連接的螺孔，所述傳動件套設于所述轉軸上并與所述轉軸同軸運動；

所述夾持部與所述轉軸樞接，且能隨所述轉軸同步升降；所述夾持部連接有限制其周向轉動的限位件。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述傳動件為齒輪、皮帶輪或鏈輪。