[實用新型]用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具及沉積裝置

有效

• 申請號: 201821708390.8
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209194056U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 唐永炳;孟醒;陳波;王陶
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/27
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 齊云

1.一種用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具，其特征在于，包括傳動單元(1)和夾持單元(2)；

所述夾持單元(2)用于裝載摻雜源(3)，所述傳動單元(1)與所述夾持單元(2)連接，且所述傳動單元(1)能夠帶動所述夾持單元(2)沿豎向運動。

2.根據權利要求1所述的用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具，其特征在于，所述夾持單元(2)包括夾持部(21)和夾頭(22)，所述摻雜源(3)通過所述夾頭(22)裝載在所述夾持部(21)上。

3.根據權利要求2所述的用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具，其特征在于，所述傳動單元(1)包括傳動件(11)和轉軸(12)，所述傳動件(11)套設于所述轉軸(12)上并與所述轉軸(12)同軸運動，所述轉軸(12)上設有外螺紋；

所述夾持部(21)上設置與所述轉軸(12)螺紋連接的螺孔；所述夾持部(21)連接有用于限制其繞所述轉軸(12)轉動的限位件。

4.根據權利要求2所述的用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具，其特征在于，所述傳動單元(1)包括傳動件(11)和固定軸，所述固定軸上設有外螺紋，所述傳動件(11)設有與所述固定軸螺紋連接的螺孔；

所述夾持部(21)與所述傳動件(11)樞接，且能隨所述傳動件(11)同步升降；所述夾持部(21)連接有限制其周向轉動的限位件。

5.根據權利要求2所述的用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具，其特征在于，所述傳動單元(1)包括傳動件(11)、轉軸(12)和固定軸，所述固定軸上設有外螺紋，所述轉軸(12)設有與所述固定軸螺紋連接的螺孔，所述傳動件(11)套設于所述轉軸(12)上并與所述轉軸(12)同軸運動；

所述夾持部(21)與所述轉軸(12)樞接，且能隨所述轉軸(12)同步升降；所述夾持部(21)連接有限制其周向轉動的限位件。

6.根據權利要求3-5任意一項所述的用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具，其特征在于，所述傳動件(11)為齒輪、皮帶輪或鏈輪。

7.根據權利要求3-5任意一項所述的用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具，其特征在于，所述傳動件(11)為銅質傳動件；

和/或，所述夾持部(21)為銅質夾持部。

8.一種沉積裝置，其特征在于，包括爐體，權利要求1-7任意一項所述的用于在片材上沉積摻雜涂層的夾具位于所述爐體內部并用于裝載摻雜源(3)；

所述夾具與所述爐體可拆卸固定連接。

9.根據權利要求8所述的沉積裝置，其特征在于，所述爐體內部設有襯底平臺(4)，所述襯底平臺(4)上設有可旋轉樣品臺(5)和至少兩個熱絲固定架(7)，所述熱絲固定架(7)通過電極柱(9)與所述襯底平臺(4)連接，所述熱絲固定架(7)之間設置有熱絲(8)，所述可旋轉樣品臺(5)位于所述熱絲(8)的下方；

所述可旋轉樣品臺(5)能夠帶動所述夾具的所述傳動單元(1)運動，進而帶動所述夾持單元(2)沿豎向運動。

10.根據權利要求9所述的沉積裝置，其特征在于，所述可旋轉樣品臺(5)與所述夾具的所述傳動單元(1)之間采用齒輪傳動、皮帶傳動或鏈傳動。