[實用新型]用于化學機械拋光設備平臺的馬達負載力矩終點探測系統有效

申請號：	201821705955.7	申請日：	2018-10-19
公開（公告）號：	CN208902147U	公開（公告）日：	2019-05-24
發明（設計）人：	莫科偉;黃榮燕;施玉德;韋榮;朱銹杰	申請（專利權）人：	吉姆西半導體科技（無錫）有限公司
主分類號：	G01D21/00	分類號：	G01D21/00;H01L21/67
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	214194 江蘇省無錫市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	終點探測系統馬達負載化學機械拋光設備信號放大電路本實用新型馬達驅動器數據連接線信號傳輸線連接信號總控制器研磨晶圓馬達傳輸線激光測量設備放大電路精度要求數據檢測輸出端線連接生產成本測量替代
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【權利要求書】：

1.用于化學機械拋光設備平臺的馬達負載力矩終點探測系統，其特征包括馬達(1)、馬達驅動器(2)、AI/O線(3)、數據連接線(4)、信號傳輸線(5)、信號放大電路(6)和總控制器(7)，其中馬達(1)通過AI/O線(3)連接馬達驅動器(2)，AI/O線(3)的輸出端通過數據連接線(4)連接信號傳輸線(5)，信號傳輸線(5)連接信號放大電路(6)，信號放大電路(6)連接總控制器(7)。

2.如權利要求1所述的用于化學機械拋光設備平臺的馬達負載力矩終點探測系統，其特征是所述的AI/O線(3)的輸出端分出三根數據連接線(4)對應連接三條信號傳輸線(5)，三條信號傳輸線(5)分別連接一個信號放大電路(6)。

3.如權利要求1或2所述的用于化學機械拋光設備平臺的馬達負載力矩終點探測系統，其特征是所述的總控制器(7)包括對信號放大電路(6)傳輸來的數據進行分析并計算出研磨率數據的分析計算模塊(71)，和接收分析計算模塊(71)傳遞的研磨率數據并顯示的數據顯示模塊(72)。

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