[實用新型]用于片材沉積涂層的夾具及沉積裝置

有效

• 申請號: 201821704780.8
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209243167U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 唐永炳;陳波;王陶;楊揚
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/50;C23C14/26;C23C16/54;C23C16/458;C23C16/448
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 齊云

本實用新型提供了一種用于片材沉積涂層的夾具及沉積裝置，涉及涂層沉積輔助設備技術領域。該夾具包括驅動件、轉軸和裝夾件，驅動件與轉軸連接并能夠帶動轉軸轉動，裝夾件設置在轉軸上，裝夾件上還設有至少兩個用于固定片材的固定件；該夾具能夠同時裝載多片片材，且在驅動件的帶動下能夠實現不同片材位置的變換，即沉積過程中一次可對多片片材進行涂層沉積，極大減少了沉積過程的一些中間步驟，大大提高了沉積效率、縮短了生產周期，降低了生產成本，同時減弱了頻繁更換片材時對熱絲造成的不利影響，延長了熱絲的使用壽命。本實用新型還提供一種沉積裝置，包括爐體，上述用于片材沉積涂層的夾具位于爐體內并對片材進行夾持。

技術領域

本實用新型涉及涂層沉積輔助設備技術領域，尤其是涉及一種用于片材沉積涂層的夾具及沉積裝置。

背景技術

在熱絲氣相沉積法制備片材涂層的工藝中，受限于現有沉積裝置的結構，每次沉積操作時往往只能放入單片片材于沉積裝置內，即一爐一片逐片沉積。這種工藝操作存在以下問題：

(1)每沉積完一片片材，都需要打開設備重新裝載下一片，每次裝載都要重新抽真空，而抽真空的時間占整個生產時間的五分之一左右；

(2)通常在更換片材的過程中，熱絲由高溫冷卻至室溫極易斷裂，需要重新更換熱絲，且熱絲(鉭絲)的價格比較貴，經常更換熱絲不利于降低生產成本。

由此可知，一爐一片逐片沉積的方式沉積效率低，產量低，工人勞動強度大，生產成本高。有鑒于此，特提出本實用新型能夠解決上述問題中的至少一個。

實用新型內容

本實用新型的第一目的在于提供一種用于片材沉積涂層的夾具，在不改變沉積裝置的基本結構條件下，該夾具可同時裝載多片片材，實現一次可對多片片材進行涂層沉積，極大的減少了一些中間過程，有利于提高沉積效率和降低生產成本。

本實用新型的第二目的在于提供一種沉積裝置，使用上述用于片材沉積涂層的夾具進行沉積操作，使用該沉積裝置能夠對片材進行多片連續沉積，沉積效率高、生產周期短，同時也降低了生產成本。

為解決上述技術問題，本實用新型特采用如下技術方案：

本實用新型提供了一種用于片材沉積涂層的夾具，包括驅動件、轉軸和裝夾件；

所述驅動件與所述轉軸連接，并能夠帶動所述轉軸轉動，所述裝夾件設置在所述轉軸上，所述裝夾件上還設有至少兩個用于固定片材的固定件。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述驅動件包括第一驅動件和第二驅動件；

所述第一驅動件與所述第二驅動件配合連接，且所述第二驅動件能夠隨所述第一驅動件轉動；

所述第二驅動件與所述轉軸固定連接。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一驅動件和所述第二驅動件之間采用齒輪傳動、皮帶傳動或鏈傳動。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述裝夾件能夠沿所述轉軸的軸向方向滑動。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，各所述固定件位于同一水平高度，且沿各所述固定件沿所述轉軸周向均勻分布。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述固定件為鉬質夾頭。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一驅動件和第二驅動件均為銅質驅動件；

和/或，所述轉軸為銅質轉軸；

和/或，所述裝夾件為銅質裝夾件。

本實用新型還提供了一種沉積裝置，包括爐體，上述用于片材沉積涂層的夾具位于所述爐體內部并對片材進行夾持。