[實(shí)用新型]用于片材沉積涂層的夾具及沉積裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821704780.8
• 申請(qǐng)日: 2018-10-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209243167U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐永炳;陳波;王陶;楊揚(yáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/50;C23C14/26;C23C16/54;C23C16/458;C23C16/448
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 齊云

1.一種用于片材沉積涂層的夾具，其特征在于，包括驅(qū)動(dòng)件、轉(zhuǎn)軸和裝夾件；

所述驅(qū)動(dòng)件與所述轉(zhuǎn)軸連接，并能夠帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述裝夾件設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上，所述裝夾件上還設(shè)有至少兩個(gè)用于固定片材的固定件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于片材沉積涂層的夾具，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)件包括第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件；

所述第一驅(qū)動(dòng)件與所述第二驅(qū)動(dòng)件配合連接，且所述第二驅(qū)動(dòng)件能夠隨所述第一驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)；

所述第二驅(qū)動(dòng)件與所述轉(zhuǎn)軸固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于片材沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)件和所述第二驅(qū)動(dòng)件之間采用齒輪傳動(dòng)、皮帶傳動(dòng)或鏈傳動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于片材沉積涂層的夾具，其特征在于，所述裝夾件能夠沿所述轉(zhuǎn)軸的軸向方向滑動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的用于片材沉積涂層的夾具，其特征在于，各所述固定件位于同一水平高度，且各所述固定件沿所述轉(zhuǎn)軸周向均勻分布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的用于片材沉積涂層的夾具，其特征在于，所述固定件為鉬質(zhì)夾頭。

7.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于片材沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)件和第二驅(qū)動(dòng)件均為銅質(zhì)驅(qū)動(dòng)件；

和/或，所述轉(zhuǎn)軸為銅質(zhì)轉(zhuǎn)軸；

和/或，所述裝夾件為銅質(zhì)裝夾件。

8.一種沉積裝置，其特征在于，包括爐體，權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的用于片材沉積涂層的夾具位于所述爐體內(nèi)部并對(duì)片材進(jìn)行夾持。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的沉積裝置，其特征在于，所述夾具與所述爐體可拆卸固定連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的沉積裝置，其特征在于，所述爐體內(nèi)部設(shè)有襯底平臺(tái)，所述襯底平臺(tái)上設(shè)有可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)和一組相對(duì)設(shè)置的熱絲固定架，所述熱絲固定架之間設(shè)置有熱絲，每個(gè)所述熱絲固定架通過(guò)電極柱與所述襯底平臺(tái)連接；

所述夾具的所述第一驅(qū)動(dòng)件位于所述可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)上且能夠隨所述可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述夾具的所述轉(zhuǎn)軸能夠套設(shè)在所述電極柱上，通過(guò)調(diào)節(jié)所述可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述第一驅(qū)動(dòng)件、所述第二驅(qū)動(dòng)件、所述轉(zhuǎn)軸和所述裝夾件的轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)不同片材進(jìn)行沉積涂層的操作。