[實用新型]一種CMP拋光設備用定位夾具

有效

• 申請號: 201821700938.4
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN208929998U
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 方明喜;肖學才;常強
• 申請（專利權）人: 愛利彼半導體設備（中國）有限公司
• 主分類號: B24B41/06
• 分類號: B24B41/06;B24B29/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種CMP拋光設備用定位夾具，包括外殼體(1)以及外殼體(1)前表面中間位置開設的夾持固定口(2)，其特征在于：所述夾持固定口(2)內設置有固定組件(4)，所述固定組件(4)包括第一限位板(3)和第二限位板(5)，所述夾持固定口(2)的內壁上焊接有第一限位板(3)，所述第一限位板(3)的下方設置有第二限位板(5)，所述第一限位板(3)和所述第二限位板(5)之間設置有彈簧(16)，所述彈簧(16)的一端鑲入所述第一限位板(3)的內部，另一端鑲入所述第二限位板(5)的內部，所述外殼體(1)前表面的一側焊接有方形板(14)，方形板(14)的一側設置有夾取組件(13)，所述夾取組件(13)包括夾子(15)和環形片(22)，所述方形板(14)的前表面焊接有環形片(22)，所述方形板(14)的前表面上放置有夾子(15)，所述夾子(15)穿插進所述環形片(22)內。

2.根據權利要求1所述的一種CMP拋光設備用定位夾具，其特征在于：所述固定組件(4)還包括連接桿(17)和第二固定塊(18)，所述第二限位板(5)的上方一體成型有連接桿(17)，連接桿(17)的上方焊接有第二固定塊(18)，第二固定塊(18)一側的表面上焊接有限位塊，所述外殼體(1)前表面靠近所述夾持固定口(2)的一側焊接有第一方形塊(19)，第一方形塊(19)的前表面上開設有卡槽(20)，限位塊的形狀大小與卡槽(20)內的形狀大小匹配。

3.根據權利要求1所述的一種CMP拋光設備用定位夾具，其特征在于：所述夾取組件(13)還包括第一固定塊(11)和氣泵(12)，所述外殼體(1)一側的外表面焊接有第一固定塊(11)，第一固定塊(11)的前表面通過螺栓固定有氣泵(12)，氣泵(12)與所述夾子(15)之間設置有軟管，軟管的一端穿插進所述夾子(15)內，異于所述夾子(15)的一端與所述氣泵(12)的輸出端卡合連接在一起。

4.根據權利要求1所述的一種CMP拋光設備用定位夾具，其特征在于：所述外殼體(1)上表面焊接有兩個卡塊(6)，所述外殼體(1)的上方設置有收集盒(7)，收集盒(7)下方的兩端一體成型有第二方形塊(21)，收集盒(7)通過第二方形塊(21)卡合進卡塊(6)內，收集盒(7)前表面的一側焊接有標牌(8)，標牌(8)上通過膠水粘合有標記(9)，收集盒(7)的前表面開設有芯片槽(10)。

5.根據權利要求1所述的一種CMP拋光設備用定位夾具，其特征在于：所述彈簧(16)共設置有兩個，且兩個所述彈簧(16)以所述夾持固定口(2)的中間位置對稱。

6.根據權利要求1所述的一種CMP拋光設備用定位夾具，其特征在于：所述環形片(22)為金屬構件，且呈半圓弧形結構。

7.根據權利要求3所述的一種CMP拋光設備用定位夾具，其特征在于：所述夾子(15)的厚度與環形片(22)內半圓形的半徑大小相一致。