[實用新型]一種晶圓片精密刷洗機

有效

• 申請號: 201821694451.X
• 申請日: 2018-10-18
• 公開（公告）號: CN208819846U
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 李繼忠
• 申請（專利權）人: 江蘇科沛達半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種晶圓片精密刷洗機，包括清洗載體(1)，其特征在于：所述清洗載體(1)的頂部包括有工作臺(3)，所述工作臺(3)的底部與清洗載體(1)的頂部固定連接，所述工作臺(3)的頂部包括有進出料機構(5)、粗洗機構(6)、機器人(7)、氮氣甩干機構(8)和精洗機構(9)，所述進出料機構(5)的底部與工作臺(3)頂部的左側固定連接，所述粗洗機構(6)的底部與工作臺(3)頂部的右內側固定連接，所述機器人(7)的底部與工作臺(3)頂部的中部固定連接，所述氮氣甩干機構(8)與工作臺(3)頂部的右外側固定連接，所述精洗機構(9)的底部與工作臺(3)頂部的右側固定連接，所述進出料機構(5)包括有上料機構(501)和下料機構(502)，所述上料機構(501)的底部與工作臺(3)頂部的左內側固定連接，所述下料機構(502)的底部與工作臺(3)頂部的左外側固定連接，所述機器人(7)包括有第一機械臂(701)、第一機械手(702)、第二機械臂(703)、第二機械手(704)、真空吸頭(705)和旋轉連接件(706)，所述旋轉連接件(706)的一側與機器人(7)的右側固定連接，所述第一機械臂(701)的一側與旋轉連接件(706)的右側固定連接，所述第一機械手(702)的左側與第一機械臂(701)的右側固定連接，所述第二機械臂(703)的一側與旋轉連接件(706)遠離第一機械臂(701)的一側固定連接，所述第二機械手(704)的一側與第二機械臂(703)的另一側固定連接，所述真空吸頭(705)的底部與第二機械手(704)的頂部固定連接，所述氮氣甩干機構(8)包括有氮氣噴頭(801)，所述氮氣噴頭(801)的底端與工作臺(3)的頂部插接。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓片精密刷洗機，其特征在于：所述清洗載體(1)的底部包括有支撐腿(101)和萬向輪(102)，所述支撐腿(101)的頂端與清洗載體(1)底部的一側固定連接，所述萬向輪(102)的頂部與清洗載體(1)頂部遠離支撐腿(101)的一側固定安裝。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓片精密刷洗機，其特征在于：所述清洗載體(1)頂部的一側包括有玻璃罩(2)，所述玻璃罩(2)底部的一側與清洗載體(1)頂部的一側固定連接。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓片精密刷洗機，其特征在于：所述玻璃罩(2)的一側包括有密封窗(201)和清洗控制面板(202)，所述密封窗(201)的一側與玻璃罩(2)的一側固定連接，所述控制面板的一側與玻璃罩(2)遠離密封窗(201)的一側設置。

5.根據權利要求3所述的一種晶圓片精密刷洗機，其特征在于：所述玻璃罩(2)的頂部包括有機箱(4)，所述機箱(4)的底部與玻璃罩(2)頂部的中部固定連接，所述機箱(4)的內部包括有風機(401)，所述風機(401)的一側與機箱(4)的內部設置。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓片精密刷洗機，其特征在于：所述清洗載體(1)的一側包括有工控機(10)，所述工控機(10)的一側與清洗載體(1)的一側電性連接。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓片精密刷洗機，其特征在于：所述真空吸頭(705)的數量有兩個，所述兩個真空吸頭(705)的底部分別位于第一機械手(702)和第二機械手(704)的頂部固定連接。