[實(shí)用新型]一種晶圓片精密刷洗機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821694451.X
• 申請(qǐng)日: 2018-10-18
• 公開（公告）號(hào): CN208819846U
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李繼忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇科沛達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京科家知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

本實(shí)用新型提供一種晶圓片精密刷洗機(jī)，涉及洗刷機(jī)領(lǐng)域。該晶圓片精密刷洗機(jī)，包括清洗載體，所述清洗載體的頂部包括有工作臺(tái)。該晶圓片精密刷洗機(jī)，通過設(shè)置的機(jī)器人，以及第一機(jī)械臂、第一機(jī)械手、第二機(jī)械臂、第二機(jī)械手、真空吸頭和旋轉(zhuǎn)連接件的配合設(shè)置，使機(jī)器人能夠通過旋轉(zhuǎn)連接件轉(zhuǎn)動(dòng)第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂，從而使第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂能夠帶動(dòng)第一機(jī)械手和第二機(jī)械手上的真空吸頭圍著工作臺(tái)移動(dòng)，從而使真空吸頭能夠通過上料機(jī)構(gòu)吸住晶圓片，從而使吸住晶圓片的真空吸頭能夠通過第一機(jī)械手和第二機(jī)械手依次送至粗洗機(jī)構(gòu)、精洗機(jī)構(gòu)和氮?dú)馑Ω蓹C(jī)構(gòu)進(jìn)行清洗甩干，最后通過下料機(jī)構(gòu)獲取刷洗后的晶圓片。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及洗刷機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓片精密刷洗機(jī)。

背景技術(shù)

目前市場(chǎng)上的晶圓片在生產(chǎn)加工的過程中，都會(huì)進(jìn)行刷洗工序，但是目前晶圓片的清洗工序，大多都是由工人進(jìn)行人工清洗，而這樣的工作方式效率低，并且操作手法不標(biāo)準(zhǔn)，因此我們提出一種晶圓片精密刷洗機(jī)來解決上述所提出的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)合理且新穎，提高工作效率，操作手法統(tǒng)一化，標(biāo)準(zhǔn)化的晶圓片精密刷洗機(jī)。

技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種晶圓片精密刷洗機(jī)，包括清洗載體，所述清洗載體的頂部包括有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的底部與清洗載體的頂部固定連接，所述工作臺(tái)的頂部包括有進(jìn)出料機(jī)構(gòu)、粗洗機(jī)構(gòu)、機(jī)器人、氮?dú)馑Ω蓹C(jī)構(gòu)和精洗機(jī)構(gòu)，所述進(jìn)出料機(jī)構(gòu)的底部與工作臺(tái)頂部的左側(cè)固定連接，所述粗洗機(jī)構(gòu)的底部與工作臺(tái)頂部的右內(nèi)側(cè)固定連接，所述機(jī)器人的底部與工作臺(tái)頂部的中部固定連接，所述氮?dú)馑Ω蓹C(jī)構(gòu)與工作臺(tái)頂部的右外側(cè)固定連接，所述精洗機(jī)構(gòu)的底部與工作臺(tái)頂部的右側(cè)固定連接，所述進(jìn)出料機(jī)構(gòu)包括有上料機(jī)構(gòu)和下料機(jī)構(gòu)，所述上料機(jī)構(gòu)的底部與工作臺(tái)頂部的左內(nèi)側(cè)固定連接，所述下料機(jī)構(gòu)的底部與工作臺(tái)頂部的左外側(cè)固定連接，所述機(jī)器人包括有第一機(jī)械臂、第一機(jī)械手、第二機(jī)械臂、第二機(jī)械手、真空吸頭和旋轉(zhuǎn)連接件，所述旋轉(zhuǎn)連接件的一側(cè)與機(jī)器人的右側(cè)固定連接，所述第一機(jī)械臂的一側(cè)與旋轉(zhuǎn)連接件的右側(cè)固定連接，所述第一機(jī)械手的左側(cè)與第一機(jī)械臂的右側(cè)固定連接，所述第二機(jī)械臂的一側(cè)與旋轉(zhuǎn)連接件遠(yuǎn)離第一機(jī)械臂的一側(cè)固定連接，所述第二機(jī)械手的一側(cè)與第二機(jī)械臂的另一側(cè)固定連接，所述真空吸頭的底部與第二機(jī)械手的頂部固定連接，所述氮?dú)馑Ω蓹C(jī)構(gòu)包括有氮?dú)鈬婎^，所述氮?dú)鈬婎^的底端與工作臺(tái)的頂部插接。

進(jìn)一步的，所述清洗載體的底部包括有支撐腿和萬向輪，所述支撐腿的頂端與清洗載體底部的一側(cè)固定連接，所述萬向輪的頂部與清洗載體頂部遠(yuǎn)離支撐腿的一側(cè)固定安裝。

進(jìn)一步的，所述清洗載體頂部的一側(cè)包括有玻璃罩，所述玻璃罩底部的一側(cè)與清洗載體頂部的一側(cè)固定連接。

進(jìn)一步的，所述玻璃罩的一側(cè)包括有密封窗和清洗控制面板，所述密封窗的一側(cè)與玻璃罩的一側(cè)固定連接，所述控制面板的一側(cè)與玻璃罩遠(yuǎn)離密封窗的一側(cè)設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述玻璃罩的頂部包括有機(jī)箱，所述機(jī)箱的底部與玻璃罩頂部的中部固定連接，所述機(jī)箱的內(nèi)部包括有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的一側(cè)與機(jī)箱的內(nèi)部設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述清洗載體的一側(cè)包括有工控機(jī)，所述工控機(jī)的一側(cè)與清洗載體的一側(cè)電性連接。

進(jìn)一步的，所述真空吸頭的數(shù)量有兩個(gè)，所述兩個(gè)真空吸頭的底部分別位于第一機(jī)械手和第二機(jī)械手的頂部固定連接。

本實(shí)用新型提供的一種晶圓片精密刷洗機(jī)。具備以下有益效果：