[實用新型]一種可在外部對液滴進(jìn)行pH值調(diào)節(jié)的成膜裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821693412.8 | 申請日: | 2018-10-18 |
| 公開(公告)號: | CN209020363U | 公開(公告)日: | 2019-06-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李波;謝丹;舒霞云;吳常健;許克宇;陳文奐;魏智濱;張墻;肖航 | 申請(專利權(quán))人: | 廈門理工學(xué)院 |
| 主分類號: | B01J19/00 | 分類號: | B01J19/00 |
| 代理公司: | 泉州市潭思專利代理事務(wù)所(普通合伙) 35221 | 代理人: | 麻艷 |
| 地址: | 361024 福*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 成膜裝置 霧化裝置 本實用新型 供應(yīng)裝置 運動機構(gòu) 工作腔 酸堿液 液滴 外部 成膜過程 均勻沉積 圖案成型 霧化噴口 液滴噴頭 運動臺 基板 微滴 薄膜 噴射 | ||
本實用新型公開了一種可在外部對液滴進(jìn)行pH值調(diào)節(jié)的成膜裝置,該成膜裝置包括液滴噴頭、運動機構(gòu)及固定在運動機構(gòu)的運動臺上的基板;所述運動臺的上方設(shè)有工作腔;所述成膜裝置還設(shè)有pH調(diào)節(jié)裝置,該pH調(diào)節(jié)裝置包括酸堿液供應(yīng)裝置及霧化裝置,該酸堿液供應(yīng)裝置及霧化裝置之間設(shè)有連接二者的管道,該霧化裝置的霧化噴口位于該工作腔內(nèi)。本實用新型可實現(xiàn)在外部對噴射出的微滴進(jìn)行pH調(diào)節(jié),從而在成膜過程中對pH值的控制,進(jìn)而完成均勻沉積薄膜,圖案成型的要求。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種微滴噴射成膜裝置,尤其涉及一種可在外部對液滴進(jìn)行pH值調(diào)節(jié)的成膜裝置。
背景技術(shù)
在噴墨打印后,油墨功能溶質(zhì)的均勻沉積對高精度圖案的形成及所制備器件的性能與應(yīng)用都非常重要。在噴墨打印過程中,不僅需要調(diào)節(jié)參數(shù),控制液滴噴射的穩(wěn)定狀態(tài),而且需要控制液滴沉積形貌。在很多的液滴成膜過程中,在溶質(zhì)和溶劑確定的情況下,影響成膜過程的參數(shù)一般有溫度和pH值等,若對這些參數(shù)進(jìn)行調(diào)節(jié)以致達(dá)到最佳參數(shù),并以這些最佳參數(shù)控制成膜過程,則可以很好的完成均勻沉積,并達(dá)到預(yù)期的圖案成型要求。
現(xiàn)有技術(shù)中,一般是先對溶劑進(jìn)行pH值調(diào)節(jié),再加入其它組分中進(jìn)行攪拌獲得成膜液,也就是說是對成膜材料進(jìn)行pH值調(diào)節(jié)。例如:CN201410242562.7公開的“一種鋁合金表面轉(zhuǎn)化膜的成膜液及制備方法及應(yīng)用”,該過程較繁瑣且攪拌過程中也可能受其它因素影響會導(dǎo)致pH值發(fā)生變化。而且該調(diào)節(jié)方式只能在成膜之前進(jìn)行調(diào)節(jié),不能在成膜過程中進(jìn)行調(diào)節(jié),即不具有實時性。再者,酸堿成分可能會改變材料特性,對于有些材料不適合,還有可能因此堵塞噴頭。因此,若是能在成膜過程中對成膜液滴進(jìn)行pH值調(diào)節(jié),以達(dá)到成膜所需的最佳參數(shù),則可以很好的完成均勻沉積或獲取復(fù)雜成膜圖案。
實用新型內(nèi)容
本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種可在外部對液滴進(jìn)行pH值調(diào)節(jié)的成膜裝置,其可在外部對微滴進(jìn)行pH值調(diào)節(jié),從而在成膜過程中通過調(diào)節(jié)pH值,來達(dá)到均勻沉積薄膜或復(fù)雜圖案成型的要求。
為解決上述技術(shù)問題,本實用新型的技術(shù)解決方案是:
一種可在外部對液滴進(jìn)行pH值調(diào)節(jié)的成膜裝置,該成膜裝置包括液滴噴頭、運動機構(gòu)及固定在運動機構(gòu)的運動臺上的基板;所述運動臺的上方設(shè)有工作腔;所述成膜裝置還設(shè)有pH調(diào)節(jié)裝置,該pH調(diào)節(jié)裝置包括酸堿液供應(yīng)裝置及霧化裝置,該酸堿液供應(yīng)裝置及霧化裝置之間設(shè)有連接二者的管道,該霧化裝置的霧化噴口位于該工作腔內(nèi)。
優(yōu)選地,進(jìn)一步設(shè)有收集酸性或堿性霧化氣體的收集裝置及將酸性或堿性霧化氣體排至所述收集裝置的空壓機,該收集裝置與空壓機通過管道分別與成膜裝置的工作腔相連通。
優(yōu)選地,所述的空壓機通過霧化裝置間接與所述工作腔相連通,其與霧化裝置之間設(shè)有連接二者的另一管道。
優(yōu)選地,所述的霧化裝置安裝于所述工作腔的上方一側(cè);所述的收集裝置通過管道連接于所述工作腔的下方腔壁上。
優(yōu)選地,進(jìn)一步設(shè)有pH值傳感器,該pH值傳感器設(shè)于運動臺上方。
采用上述方案后,由于本實用新型設(shè)有酸堿液供應(yīng)裝置,其用于提供酸堿液,然后經(jīng)過霧化裝置將酸堿液霧化成氣體,從而在外部對噴射出的微滴進(jìn)行pH值的調(diào)節(jié),并可實現(xiàn)在成膜過程中的對pH值調(diào)節(jié),直至pH值達(dá)到所實驗成膜材料的最佳成膜pH值,最后完成均勻沉積成膜或制作復(fù)雜圖案薄膜。
附圖說明
圖1是本實用新型所述成膜裝置的整體結(jié)構(gòu)圖;
圖2是本實用新型所述成膜裝置的結(jié)構(gòu)原理圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳述。
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