[實用新型]一種可在外部對液滴進行pH值調節的成膜裝置有效
| 申請號: | 201821693412.8 | 申請日: | 2018-10-18 |
| 公開(公告)號: | CN209020363U | 公開(公告)日: | 2019-06-25 |
| 發明(設計)人: | 李波;謝丹;舒霞云;吳常健;許克宇;陳文奐;魏智濱;張墻;肖航 | 申請(專利權)人: | 廈門理工學院 |
| 主分類號: | B01J19/00 | 分類號: | B01J19/00 |
| 代理公司: | 泉州市潭思專利代理事務所(普通合伙) 35221 | 代理人: | 麻艷 |
| 地址: | 361024 福*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 成膜裝置 霧化裝置 本實用新型 供應裝置 運動機構 工作腔 酸堿液 液滴 外部 成膜過程 均勻沉積 圖案成型 霧化噴口 液滴噴頭 運動臺 基板 微滴 薄膜 噴射 | ||
1.一種可在外部對液滴進行pH值調節的成膜裝置,該成膜裝置包括液滴噴頭(11)、運動機構及固定在運動機構的運動臺(13)上的基板(12);其特征在于:所述運動臺(13)的上方設有工作腔(14);所述成膜裝置還設有pH調節裝置,該pH調節裝置包括酸堿液供應裝置(51)及霧化裝置(52),該酸堿液供應裝置(51)及霧化裝置(52)之間設有連接二者的管道(54),該霧化裝置(52)的霧化噴口位于該工作腔(14)內。
2.根據權利要求1所述的一種可在外部對液滴進行pH值調節的成膜裝置,其特征在于:進一步設有收集酸性或堿性霧化氣體的收集裝置(8)及將酸性或堿性霧化氣體排至所述收集裝置(8)的空壓機(7),該收集裝置(8)與空壓機(7)通過管道分別與成膜裝置的工作腔(14)相連通。
3.根據權利要求2所述的一種可在外部對液滴進行pH值調節的成膜裝置,其特征在于:所述的空壓機(7)通過霧化裝置(52)間接與所述工作腔(14)相連通,其與霧化裝置之間設有連接二者的另一管道(55)。
4.根據權利要求2所述的一種可在外部對液滴進行pH值調節的成膜裝置,其特征在于:所述的霧化裝置(52)安裝于所述工作腔(14)的上方一側;所述的收集裝置(8)通過管道連接于所述工作腔的下方腔壁上。
5.根據權利要求1-4任一所述的一種可在外部對液滴進行pH值調節的成膜裝置,其特征在于:進一步設有pH值傳感器(53),該pH值傳感器(53)設于運動臺(13)上方。
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