[實用新型]保護環組件及具有該組件的等離子體注入裝置有效
| 申請號： | 201821683354.0 | 申請日： | 2018-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN208767256U | 公開（公告）日： | 2019-04-19 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 長鑫存儲技術有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律智知識產權代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁禮君;闞梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 安裝孔槽 安裝螺絲 等離子體 螺帽 安裝表面 處理腔室 環組件 卡環 注入裝置 狹縫 過盈配合 環狀結構 可拆裝 槽壁 卡入 外周 配置 穿過 貫穿 | ||
1.一種保護環組件，安裝于等離子體注入裝置中，所述等離子體注入裝置具有處理腔室，其特征在于，所述保護環組件包括：
本體，呈環狀結構，且具有分別朝向和背向所述處理腔室的安裝表面和外表面，所述本體開設有多條貫穿所述安裝表面和所述外表面的狹縫，所述狹縫被配置為供等離子體穿過，所述安裝表面開設有多個安裝孔槽；以及
多個安裝螺絲，可拆裝地設于所述處理腔室，所述安裝螺絲具有露出于所述處理腔室的螺帽，所述螺帽外周設有卡環，所述卡環的外徑大于所述安裝孔槽的孔徑；
其中，所述安裝螺絲的所述螺帽被配置為卡入所述安裝孔槽中，且所述卡環過盈配合于所述安裝孔槽的槽壁。
2.根據權利要求1所述的保護環組件，其特征在于，所述本體的介于其外表面與所述安裝孔槽的槽底之間的部分的厚度大于1毫米。
3.根據權利要求2所述的保護環組件，其特征在于，所述本體的介于其外表面與所述安裝孔槽的槽底之間的部分的厚度為3毫米～5毫米。
4.根據權利要求1所述的保護環組件，其特征在于，所述安裝螺絲的螺帽外周設有環形凹槽，所述卡環設于所述環形凹槽，且所述卡環的外周露出于所述螺帽的外周。
5.根據權利要求1所述的保護環組件，其特征在于，每個所述安裝螺絲的所述螺帽外周設有多個所述卡環，多個所述卡環沿所述安裝螺絲的軸向間隔分布。
6.根據權利要求1所述的保護環組件，其特征在于，所述卡環的材質為橡膠。
7.根據權利要求1所述的保護環組件，其特征在于，多條所述狹縫與多個所述安裝孔槽在所述本體所對應的環狀路徑上間隔均勻地交替分布。
8.根據權利要求7所述的保護環組件，其特征在于，所述本體上開設有四條狹縫，四條所述狹縫在所述本體所對應的環狀路徑上間隔均勻分布。
9.根據權利要求8所述的保護環組件，其特征在于，所述本體的安裝表面開設有四個所述安裝孔槽，四個所述安裝孔槽在所述本體所對應的環狀路徑上間隔均勻分布。
10.一種等離子體注入裝置，具有處理腔室，所述處理腔室設有保護環，其特征在于，所述保護環為權利要求1～9任一項所述的保護環組件。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于長鑫存儲技術有限公司，未經長鑫存儲技術有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201821683354.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：腔室冷卻裝置及半導體加工設備
- 下一篇：一種疝氣燈
