[實用新型]一種均勻度高的曝光機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821679244.7
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN209055802U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發(fā)明（設計）人: 周華隆;唐庭敏
• 申請（專利權）人: 珠海市聯(lián)健電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 利宇寧

本實用新型公開了一種均勻度高的曝光機，包括有機架、控制系統(tǒng)、玻璃載物臺、UV?LED光源模組以及UV光學檢測裝置，玻璃載物臺由輸送裝置驅(qū)動，控制系統(tǒng)均與輸送裝置、UV?LED光源模組以及UV光學檢測裝置電性連接，UV?LED光源模組包括有多顆陣列式排列的UVLED以及復眼透鏡組，每顆UVLED均在其正前方安裝有一組聚光透鏡組，輸送裝置上安裝有平面光鏡，玻璃載物臺的上下兩側(cè)對稱設置有兩組曲面反光鏡，UV光學檢測裝置包括有檢測機構以及阻值調(diào)節(jié)模塊，檢測機構包括有多個感光元件，用以對UVLED的照度進行檢測；阻值調(diào)節(jié)模塊用以調(diào)節(jié)與UVLED電性連接的阻值的大小。本實用新型提供的一種均勻度高的曝光機，可以提高曝光機的均勻度，達到滿足用戶需求的目的。

技術領域

本實用新型涉及曝光機技術領域，尤其涉及一種均勻度高的曝光機。

背景技術

目前采用UVLED取代傳統(tǒng)汞燈已經(jīng)提上日程，其高效的節(jié)能和50倍于汞燈的使用壽命是其最大的優(yōu)勢，但是就目前而言，采用UVLED存在技術上的不成熟，也即均勻照度問題，傳統(tǒng)汞燈雖然有諸多缺點，但是汞燈發(fā)光的原理決定其均勻度極高，完全滿足PCB生產(chǎn)的要求。而要采用多顆UVLED組成的面陣光源取代汞燈，均勻性是極大的挑戰(zhàn)，如果不解決光源的均勻度問題，UVLED在PCB行業(yè)的曝光機就不可能得到大面積的推廣。

實用新型內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術的缺點和不足，提供一種均勻度高的曝光機，從而提高曝光機的均勻度，達到滿足用戶需求的目的。

為實現(xiàn)本實用新型目的而提供的一種均勻度高的曝光機，包括有機架、控制系統(tǒng)、玻璃載物臺、UV-LED光源模組以及UV光學檢測裝置，所述玻璃載物臺由輸送裝置驅(qū)動，所述控制系統(tǒng)均與所述輸送裝置、UV-LED光源模組以及UV光學檢測裝置電性連接，所述UV-LED光源模組位于輸送裝置上方并且固定安裝在所述機架上，所述UV-LED光源模組包括有多顆陣列式排列的UVLED以及復眼透鏡組，每顆UVLED均在其正前方安裝有一組聚光透鏡組，所述復眼透鏡組由兩片形狀相似的復眼透鏡平行放置而成，每片復眼透鏡包括多組陣列式的矩形玻璃透鏡，所述輸送裝置上安裝有平面光鏡，通過該輸送裝置調(diào)整平面光鏡位置，以改變紫外線光束的方向，所述玻璃載物臺的上下兩側(cè)對稱設置有兩組曲面反光鏡，兩組所述曲面反光鏡分別對平面光鏡的反射紫外光束及穿透紫外光束進行角度調(diào)整，用以將扇形分布的光束轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄馐瓷涞讲Ａлd物臺上；所述UV光學檢測裝置包括有檢測機構以及阻值調(diào)節(jié)模塊，所述檢測機構與所述阻值調(diào)節(jié)模塊均與所述控制系統(tǒng)電性連接，所述檢測機構包括有多個感光元件，所述感光元件與所述UVLED對應設置，分別用以對所述UVLED的照度進行檢測；所述阻值調(diào)節(jié)模塊設置有多個，分別與所述UVLED電性連接，所述阻值調(diào)節(jié)模塊用以調(diào)節(jié)與所述UVLED電性連接的阻值的大小。

作為上述方案的進一步改進，所述UV-LED光源模組的一端設置有一冷卻液入口，另一端設置有一冷卻液出口。

作為上述方案的進一步改進，所述輸送裝置安裝在機架內(nèi)部，所述機架設置有入口與出口，所述輸送裝置的一端設置在入口處，所述輸送裝置的另一端設置在出口處。

作為上述方案的進一步改進，還包括有恒溫裝置，所述恒溫裝置包括有溫度傳感器和加熱器，所述溫度傳感器電性連接于所述控制系統(tǒng)，所述加熱器電性連接于所述控制系統(tǒng)。

作為上述方案的進一步改進，多顆陣列式排列的UVLED為矩形或者菱形排列，所發(fā)射的紫外光束，經(jīng)過聚光透鏡組聚光成為平行或者趨近于平行的光束，并且垂直或者趨近于垂直照射在正前方的復眼透鏡組上。

本實用新型的有益效果是：