[實用新型]一種均勻度高的曝光機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821679244.7
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN209055802U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周華隆;唐庭敏
• 申請（專利權(quán)）人: 珠海市聯(lián)健電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 利宇寧

1.一種均勻度高的曝光機(jī)，其特征在于：包括有機(jī)架、控制系統(tǒng)、玻璃載物臺、UV-LED光源模組以及UV光學(xué)檢測裝置，所述玻璃載物臺由輸送裝置驅(qū)動，所述控制系統(tǒng)均與所述輸送裝置、UV-LED光源模組以及UV光學(xué)檢測裝置電性連接，所述UV-LED光源模組位于輸送裝置上方并且固定安裝在所述機(jī)架上，所述UV-LED光源模組包括有多顆陣列式排列的UVLED以及復(fù)眼透鏡組，每顆UVLED均在其正前方安裝有一組聚光透鏡組，所述復(fù)眼透鏡組由兩片形狀相似的復(fù)眼透鏡平行放置而成，每片復(fù)眼透鏡包括多組陣列式的矩形玻璃透鏡，所述輸送裝置上安裝有平面光鏡，通過該輸送裝置調(diào)整平面光鏡位置，以改變紫外線光束的方向，所述玻璃載物臺的上下兩側(cè)對稱設(shè)置有兩組曲面反光鏡，兩組所述曲面反光鏡分別對平面光鏡的反射紫外光束及穿透紫外光束進(jìn)行角度調(diào)整，用以將扇形分布的光束轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄馐瓷涞讲Ａлd物臺上；所述UV光學(xué)檢測裝置包括有檢測機(jī)構(gòu)以及阻值調(diào)節(jié)模塊，所述檢測機(jī)構(gòu)與所述阻值調(diào)節(jié)模塊均與所述控制系統(tǒng)電性連接，所述檢測機(jī)構(gòu)包括有多個感光元件，所述感光元件與所述UVLED對應(yīng)設(shè)置，分別用以對所述UVLED的照度進(jìn)行檢測；所述阻值調(diào)節(jié)模塊設(shè)置有多個，分別與所述UVLED電性連接，所述阻值調(diào)節(jié)模塊用以調(diào)節(jié)與所述UVLED電性連接的阻值的大小。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻度高的曝光機(jī)，其特征在于：所述UV-LED光源模組的一端設(shè)置有一冷卻液入口，另一端設(shè)置有一冷卻液出口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻度高的曝光機(jī)，其特征在于：所述輸送裝置安裝在機(jī)架內(nèi)部，所述機(jī)架設(shè)置有入口與出口，所述輸送裝置的一端設(shè)置在入口處，所述輸送裝置的另一端設(shè)置在出口處。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻度高的曝光機(jī)，其特征在于：還包括有恒溫裝置，所述恒溫裝置包括有溫度傳感器和加熱器，所述溫度傳感器電性連接于所述控制系統(tǒng)，所述加熱器電性連接于所述控制系統(tǒng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻度高的曝光機(jī)，其特征在于：多顆陣列式排列的UVLED為矩形或者菱形排列，所發(fā)射的紫外光束，經(jīng)過聚光透鏡組聚光成為平行或者趨近于平行的光束，并且垂直或者趨近于垂直照射在正前方的復(fù)眼透鏡組上。