[實用新型]用于液體槽的晶圓傳輸裝置和晶圓清洗設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821679016.X
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN208753287U
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陸從喜;辛君;吳龍江;林宗賢
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;董琳

1.一種用于液體槽的晶圓傳輸裝置，其特征在于，包括：

第一磁環(huán)，用于設(shè)置于所述液體槽的槽體內(nèi)，所述第一磁環(huán)能夠繞所述第一磁環(huán)的中心軸旋轉(zhuǎn)；

第二磁環(huán)，用于設(shè)置于所述液體槽的槽體外部，磁性耦合至所述第一磁環(huán)，且所述第二磁環(huán)能夠繞所述第二磁環(huán)的中心軸旋轉(zhuǎn)，以通過磁性耦合驅(qū)動所述第一磁環(huán)旋轉(zhuǎn)；

傳輸部，設(shè)置于所述液體槽的槽體內(nèi)，與所述第一磁環(huán)連接，用于受第一磁環(huán)驅(qū)動而帶動所述槽體內(nèi)放置的晶圓運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于液體槽的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述傳輸部包括：

螺桿，所述螺桿表面具有螺紋，所述螺桿的長度方向沿晶圓的運輸方向設(shè)置；所述第一磁環(huán)套接至所述螺桿，當(dāng)所述第一磁環(huán)旋轉(zhuǎn)時，所述螺桿能夠跟隨所述第一磁環(huán)繞所述第一磁環(huán)的中心軸旋轉(zhuǎn)；

滑塊，被所述螺桿所貫穿，當(dāng)所述螺桿旋轉(zhuǎn)時，所述滑塊能夠沿螺桿的長度方向運動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于液體槽的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述傳輸部還包括軸承，套設(shè)于所述螺桿兩端，且通過所述軸承固定所述螺桿的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于液體槽的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述傳輸部還包括一導(dǎo)軌，固定于所述槽體壁上，所述滑塊的一端安裝至所述導(dǎo)軌，能夠沿滑軌運動。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于液體槽的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述第一磁環(huán)、第二磁環(huán)的中心軸重疊，且所述第一磁環(huán)所在平面和第二磁環(huán)所在平面重疊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于液體槽的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述第一磁環(huán)包括環(huán)狀磁芯以及覆蓋所述環(huán)狀磁芯的耐腐蝕涂層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于液體槽的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述槽體的槽壁具有一凸出部，所述第一磁環(huán)用于設(shè)置于所述凸出部形成的空間內(nèi)，所述第二磁環(huán)用于非接觸式地套設(shè)于所述凸出部外。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于液體槽的晶圓傳輸裝置，其特征在于，還包括驅(qū)動部，所述驅(qū)動部連接至所述第二磁環(huán)，用于驅(qū)動所述第二磁環(huán)旋轉(zhuǎn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于液體槽的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述驅(qū)動部包括馬達以及連接所述馬達和所述第二磁環(huán)的連桿。

10.一種晶圓清洗裝置，其特征在于，包括：

液體槽，用于盛放清洗液和待清洗晶圓；

如權(quán)利要求1至9中任一項所述的晶圓傳輸裝置。