[實用新型]一種提高機械手載重的PECVD設備

有效

• 申請號: 201821676700.2
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN209227058U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發明（設計）人: 肖岳南;李時俊;張勇;伍波
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513;B25J9/00
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽

本實用新型公開了一種提高機械手載重的PECVD設備，包括：升降立柱、安裝在升降立柱上的固定手臂，所述固定手臂的一端可伸出活動手臂，其特征在于，所述固定手臂伸出活動手臂的一端與升降立柱連接，所述升降立柱設置在PECVD設備的活動通道的中間。本實用新型通過將升降立柱設置在PECVD設備的活動通道的中心位置，從而在緩存區或者SIC槳上搬送石墨舟時的最大懸臂長度大幅度減小，通過減少力臂的長度使機械手的承重能力得到大幅度提升，滿足PECVD設備的大產能使用要求。

技術領域

本實用新型涉及太陽能工藝設備領域，特別涉及一種提高機械手載重的PECVD設備。

背景技術

PECVD是光伏行業內給電池片做鍍膜工序的一種常用設備。機械手是PECVD設備上用于傳送石墨舟的一套機械傳動結構，通過機械手可以將石墨舟快速傳輸至各個暫存區及各管的推舟機構的SIC槳上。取代人工操作，從而使生產效率得到大幅度提升。

石墨舟是用于裝載電池片的載具，石墨舟裝載電池片的數量是決定設備產能的最關鍵要素。因此，要大幅度提升設備的產能，就需要增加石墨舟裝載電池片的數量。行業內一般會通過增加石墨片的數量及加長石墨片的長度來實現石墨舟裝片量的增加。增加石墨舟的長度時，設備的長度需相應加長；當增加石墨片的數量時，會增加石墨舟的寬度，從而設備的寬度也需相應增加，當設備寬度增加時，機械手在設備寬度方向的運動行程也需加大，機械手手臂為懸臂式傳輸結構，懸臂伸出長度越長，其承載能力越弱，如圖1所示，常規PECVD設備外部至內部依次為：安裝在立柱上的暫存區5；位于中間的可讓機械手上升和下降的活動通道；推舟機構的SIC槳6。機械手手臂的升降立柱1是設置在靠設備的最外邊，這使得當機械手在推舟機構的SIC槳6上取放石墨舟時，機械手的手臂運動所形成的懸臂長度為活動手臂運動行程與活動手爪運動行程之和，懸臂長度達到最長，承載能力低。

實用新型內容

本實用新型為了解決上述現有技術中存在的技術問題，提出一種提高機械手載重的PECVD設備。

本實用新型采用的技術方案是：

一種提高機械手載重的PECVD設備，包括：升降立柱、安裝在升降立柱上的固定手臂，所述固定手臂的一端可伸出活動手臂，所述固定手臂伸出活動手臂的一端與升降立柱連接，所述升降立柱設置在PECVD設備的活動通道的中間。

所述固定手臂的側邊設有連接件，所述連接件與升降立柱的滑塊連接。

所述活動手臂上設有可在其底面滑動用于抓取石墨舟的活動手爪。

所述活動手臂的下方設有導軌，所述活動手爪上設有與導軌配合的第二滑塊。

與現有技術比較，本實用新型的優點在于：

本實用新型通過將升降立柱設置在PECVD設備的活動通道的中心位置，從而在緩存區或者SIC槳上搬送石墨舟時的最大懸臂長度大幅度減小，通過減少力臂的長度使機械手的承重能力得到大幅度提升，滿足PECVD設備的大產能使用要求。

附圖說明

圖1為現有技術的結構簡圖；

圖2為本實用新型的結構簡圖；

圖3為機械手臂的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖以及實施例對本實用新型的原理及結構進行詳細說明。