[實用新型]一種提高機械手載重的PECVD設備有效
| 申請號： | 201821676700.2 | 申請日： | 2018-10-16 |
| 公開（公告）號： | CN209227058U | 公開（公告）日： | 2019-08-09 |
| 發明（設計）人： | 肖岳南;李時俊;張勇;伍波 | 申請（專利權）人： | 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/513 | 分類號： | C23C16/513;B25J9/00 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彥;胡朝陽 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市龍崗區橫*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 升降立柱 固定手臂 機械手 本實用新型 活動手臂 活動通道 載重 伸出 承重能力 大產能 緩存區 石墨舟 減小 力臂 懸臂 | ||
【權利要求書】：
1.一種提高機械手載重的PECVD設備，包括：升降立柱（1）、安裝在升降立柱上的固定手臂（2），所述固定手臂的一端可伸出活動手臂（3），其特征在于，所述固定手臂（2）伸出活動手臂（3）的一端與升降立柱（1）連接，所述升降立柱（1）設置在PECVD設備的活動通道的中間。
2.如權利要求1所述的提高機械手載重的PECVD設備，其特征在于，所述固定手臂（2）的側邊設有連接件（21），所述連接件（21）與升降立柱（1）的滑塊連接。
3.如權利要求1所述的提高機械手載重的PECVD設備，其特征在于，所述活動手臂（3）上設有可在其底面滑動用于抓取石墨舟（4）的活動手爪（31）。
4.如權利要求3所述的提高機械手載重的PECVD設備，其特征在于，所述活動手臂（3）的下方設有導軌，所述活動手爪（31）上設有與導軌配合的第二滑塊。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
