[實用新型]一種多晶硅爐盤干式清洗機

有效

• 申請號: 201821673019.2
• 申請日: 2018-10-10
• 公開（公告）號: CN209303365U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 李毅光;趙禹涵
• 申請（專利權）人: 北京德高潔清潔設備有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多晶硅爐盤干式清洗機，包括干冰機組，其特征是：與干冰機組相連設有干冰供料系統、防爆除塵系統、防爆電控系統，構成一個供冰組合體，此組合體與防爆清洗系統管道相連；所述防爆清洗系統是在外罩內設有清洗裝置，所述清洗裝置，是在一支架上設有旋轉伺服機構，伺服機構下設有直線模塊，直線模塊下設有清洗機頭，清洗機頭下設有噴頭和噴嘴，噴頭上連接有噴頭升降氣缸。

2.如權利要求1所述的一種多晶硅爐盤干式清洗機，其特征是：所述供冰組合體放置在可獨立移動的平板車上。

3.如權利要求1所述的一種多晶硅爐盤干式清洗機，其特征是：所述的清洗裝置設有1-4個清洗機頭、1-8個噴嘴。

4.如權利要求3所述的一種多晶硅爐盤干式清洗機，其特征是：所述的噴嘴包括直線噴嘴和彎頭噴嘴，所述的彎頭噴嘴為＞0-90°。