[實用新型]一種生產線豎向上料系統及硅片傳輸系統有效
| 申請號: | 201821671243.8 | 申請日: | 2018-10-15 |
| 公開(公告)號: | CN208767270U | 公開(公告)日: | 2019-04-19 |
| 發明(設計)人: | 磨建新;廖慶林;陳燦榮;李時俊 | 申請(專利權)人: | 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 逯恒 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市龍崗區橫崗街道橫坪公路89號涌*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 運輸件 花籃 內齒 運輸線 硅片傳輸系統 間隙空間 機械臂 石英舟 緩存 本實用新型 水平面垂直 方向平行 后續工藝 間隙均勻 簡單設計 升降機構 系統結構 托盤 轉接 移位 加工 運輸 保證 | ||
本實用新型涉及一種生產線豎向上料系統及硅片傳輸系統,屬于生產線加工輸送領域。生產線豎向上料系統包括花籃、運輸線總成、石英舟、機械臂、轉接托盤、運輸件和升降機構。花籃包括多個內齒,相鄰內齒之間形成間隙空間,間隙空間被設置用于放置運輸件;多個內齒所在的水平面和運輸線總成所在的水平面垂直,多個內齒和運輸線總成的運輸方向平行。石英舟被設置用于緩存運輸件并對運輸件進行后續工藝加工,機械臂被設置用于對運輸件進行移位。該生產線豎向上料系統采用花籃豎向上料的輸送方式,能夠提高花籃的存放率,保證花籃內運輸件之間的間隙均勻,該系統結構簡單設計合理,實用性強。
技術領域
本實用新型涉及生產線加工輸送領域,具體而言,涉及一種生產線豎向上料系統及硅片傳輸系統。
背景技術
現有技術中晶體硅太陽能電池生產線加工輸送系統中,均是采用硅片花籃橫向上料的輸送方式。實用新型人在研究中發現,現有的相關技術中至少存在以下的缺點:
第一,橫向上料同等環境下,花籃存放效率較低。
第二,橫向設置的花籃,在放置的時候硅片在花籃中的齒的間隙中,朝向不定,使得硅片之間的間隙不均勻,這樣使得吸盤取硅片的時候,吸盤插入到硅片縫隙的時候,有可能會與硅片發生干涉,對硅片表面造成磨損,甚至是將硅片損壞,嚴重影響了硅片的質量和品質。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種生產線豎向上料系統,改善現有技術的不足,其采用花籃豎向上料的輸送方式,能夠提高花籃的存放率,保證花籃內運輸件之間的間隙均勻。
本實用新型的另一目的在于提供一種硅片傳輸系統,其包括上述提到的生產線豎向上料系統,其具有該生產線豎向上料系統的全部功能。
本實用新型的實施例是這樣實現的:
一種生產線豎向上料系統,其包括:
花籃和運輸線總成,
所述花籃包括多個內齒,相鄰所述內齒之間形成間隙空間,所述間隙空間被設置用于放置運輸件;
多個所述內齒所在的水平面和所述運輸線總成所在的水平面垂直,多個所述內齒和所述運輸線總成的運輸方向平行。
具體的,該生產線豎向上料系統采用硅片花籃豎向上料的輸送方式,能夠提高花籃的存放率,保證花籃內運輸件之間的間隙均勻,該系統結構簡單設計合理,實用性強。
可選的,所述運輸線總成包括進料輸送帶、轉運輸送帶、出料輸送帶、卸料輸送帶。
可選的,所述進料輸送帶的運輸方向、所述轉運輸送帶的運輸方向、所述出料輸送帶的運輸方向和所述卸料輸送帶的運輸方向都在同一水平面;
所述進料輸送帶的運輸方向和所述卸料輸送帶的運輸方向平行;
所述轉運輸送帶的運輸方向和所述出料輸送帶的運輸方向平行;
所述轉運輸送帶的運輸方向和所述進料輸送帶的運輸方向垂直。
可選的,所述運輸線總成包括兩條互相平行的所述進料輸送帶,兩條互相平行的所述卸料輸送帶。
可選的,所述生產線豎向上料系統還包括石英舟和機械臂,所述石英舟被設置用于緩存所述運輸件并對所述運輸件進行后續工藝加工,所述機械臂被設置用于對所述運輸件進行移位。
可選的,所述機械臂內設置有吸盤,所述吸盤插入所述花籃的所述間隙空間并抓取所述花籃內的所述運輸件。
可選的,所述生產線豎向上料系統還包括轉接托盤和升降機構,所述轉接托盤被設置用于接收所述機械臂抓取出的所述運輸件,并通過所述升降機構將所述運輸件落到所述石英舟槽內。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





