[實用新型]一種生產線豎向上料系統及硅片傳輸系統

有效

• 申請號: 201821671243.8
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN208767270U
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 磨建新;廖慶林;陳燦榮;李時俊
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/673
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

1.一種生產線豎向上料系統，其特征在于，包括花籃和運輸線總成，

所述花籃包括多個內齒，相鄰所述內齒之間形成間隙空間，所述間隙空間被設置用于放置運輸件；

多個所述內齒所在的水平面和所述運輸線總成所在的水平面垂直，多個所述內齒和所述運輸線總成的運輸方向平行。

2.根據權利要求1所述的生產線豎向上料系統，其特征在于，所述運輸線總成包括進料輸送帶、轉運輸送帶、出料輸送帶、卸料輸送帶。

3.根據權利要求2所述的生產線豎向上料系統，其特征在于，所述進料輸送帶的運輸方向、所述轉運輸送帶的運輸方向、所述出料輸送帶的運輸方向和所述卸料輸送帶的運輸方向都在同一水平面；

所述進料輸送帶的運輸方向和所述卸料輸送帶的運輸方向平行；

所述轉運輸送帶的運輸方向和所述出料輸送帶的運輸方向平行；

所述轉運輸送帶的運輸方向和所述進料輸送帶的運輸方向垂直。

4.根據權利要求3所述的生產線豎向上料系統，其特征在于，所述運輸線總成包括兩條互相平行的所述進料輸送帶，兩條互相平行的所述卸料輸送帶。

5.根據權利要求1所述的生產線豎向上料系統，其特征在于，所述生產線豎向上料系統還包括石英舟和機械臂，所述石英舟被設置用于緩存所述運輸件并對所述運輸件進行后續工藝加工，所述機械臂被設置用于對所述運輸件進行移位。

6.根據權利要求5所述的生產線豎向上料系統，其特征在于，所述機械臂內設置有吸盤，所述吸盤插入所述花籃的所述間隙空間并抓取所述花籃內的所述運輸件。

7.根據權利要求6所述的生產線豎向上料系統，其特征在于，所述生產線豎向上料系統還包括轉接托盤和升降機構，所述轉接托盤被設置用于接收所述機械臂抓取出的所述運輸件，并通過所述升降機構將所述運輸件落到所述石英舟的槽內。

8.根據權利要求7所述的生產線豎向上料系統，其特征在于，所述轉接托盤還被設置用于接收所述石英舟內已加工完成的所述運輸件，所述已加工完成的運輸件通過所述升降機構脫離所述石英舟并置于所述轉接托盤。

9.根據權利要求8所述的生產線豎向上料系統，其特征在于，所述轉接托盤通過所述機械臂將所述已加工完成的運輸件轉運到轉運輸送帶的空花籃內。

10.一種硅片傳輸系統，其特征在于，包括硅片和權利要求1-9任一項所述的生產線豎向上料系統。