[實用新型]石英承載裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821663202.4 | 申請日： | 2018-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN209045513U | 公開（公告）日： | 2019-06-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李光華;趙偉恒;高峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 沈陽芯貝伊爾半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 110000 遼寧省*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 固定槽 固定軸 晶圓片 固定板 承載裝置 石英 本實用新型 均勻設(shè)置 散熱效率 時長 貼合 承載 | ||
1.一種石英承載裝置，用于承載晶圓片，其特征在于，所述石英承載裝置包括：
第一固定板；
固定軸，至少兩個所述固定軸的一端與所述第一固定板相連接，所述固定軸上設(shè)置有至少兩個固定槽，相鄰兩個所述固定槽間存在間隔，且所述晶圓片嵌于所述固定槽中；
第二固定板，所述第二固定板與至少兩個所述固定軸的另一端相連接，以使所述固定軸水平放置；
其中，至少兩個所述固定槽均勻設(shè)置在所述固定軸上，以使相鄰兩個所述晶圓片之間的距離相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英承載裝置，其特征在于：
所述固定軸為四個。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英承載裝置，其特征在于：
其中兩個所述固定軸分別與所述第一固定板和所述第二固定板的底部相連接；
其余兩個所述固定軸分別與所述第一固定板和所述第二固定板的中部相連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英承載裝置，其特征在于，所述固定槽包括：
第一本體，所述第一本體為矩形槽；
引導(dǎo)部，所述引導(dǎo)部與所述第一本體相連接，且所述引導(dǎo)部截面的兩側(cè)邊的距離由所述第一本體向背離所述第一本體方向逐漸增大。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石英承載裝置，其特征在于：
所述引導(dǎo)部截面的兩側(cè)邊呈預(yù)定角度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英承載裝置，其特征在于，所述第二固定板包括：
第二本體；
定位孔，所述定位孔設(shè)置在所述第二本體上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的石英承載裝置，其特征在于：
所述石英承載裝置為石英體。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
