[實用新型]一種新型光刻版

有效

• 申請號: 201821656828.2
• 申請日: 2018-10-12
• 公開（公告）號: CN208922055U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 馬祖光;郭光輝
• 申請（專利權）人: 濟南晶碩電子有限公司
• 主分類號: G03F1/72
• 分類號: G03F1/72;G03F7/20
• 代理公司: 濟南瑞宸知識產權代理有限公司 37268
• 代理人: 徐健

本實用新型公開了一種新型光刻版，包括光刻版本體；所述的光刻版本體設有光刻圖像區，光刻圖像區邊緣設有防漏電結構，所述的防漏電結構為梯形邊緣，梯形邊緣設有最高邊緣，最高邊緣兩端設有對稱的階梯邊緣，分別為左側階梯邊緣和右側的階梯邊緣，左側階梯邊緣和右側階梯邊緣形狀、結構相互對位鏡像。通過對光刻版圖形重新設計，在最邊緣位置原有圖形的基礎上，增加一規則圖形。通過增加的規則圖形，避免了光刻版中正常圖形邊緣一圈造成的漏電打火現象。

技術領域

本實用新型涉及工業生產設備領域，確切地說是一種新型光刻版。

背景技術

根據原有光刻版設計的圖形，在實際生產中，非常突出的表現為最邊緣一圈芯片，在測試探針臺上進行電性測試時，極其容易出現漏電打火現象，造成最邊緣一圈芯片電性不良，良品率明顯降低，增加生產成本。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是根據原有光刻版設計的圖形，在實際生產中，非常突出的表現為最邊緣一圈芯片，在測試探針臺上進行電性測試時，極其容易出現漏電打火現象，造成最邊緣一圈芯片電性不良，良品率明顯降低，增加生產成本。

為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術手段：

一種新型光刻版，包括光刻版本體；所述的光刻版本體設有光刻圖像區，光刻圖像區邊緣設有防漏電結構，所述的防漏電結構為梯形邊緣，梯形邊緣設有最高邊緣，最高邊緣兩端設有對稱的階梯邊緣，分別為左側階梯邊緣和右側的階梯邊緣，左側階梯邊緣和右側階梯邊緣形狀、結構相互對位鏡像。通過對光刻版圖形重新設計，在最邊緣位置原有圖形的基礎上，增加一規則圖形。通過增加的規則圖形，避免了光刻版中正常圖形邊緣一圈造成的漏電打火現象。

作為優選，本實用新型更進一步的技術方案是：

所述的光刻版本體設有支撐架，支撐架中部設有置物腔體，置物腔體邊緣設有真空梯形槽和真空環槽，支撐架上部設有光刻板區，支撐架底部設有支撐結構。通過設置針對本設置光刻板設計的支撐架，支撐效果好，光刻效率高。

所述的置物腔體內可以放置硅片。

所述的真空梯形槽設置在真空環槽內。通過設真空槽的設置，減少打火情況。

所述的支撐架為長方形結構，支撐架上部設有環形支撐面，支撐架的下部設有長方形的支撐座。

所述的支撐結構為支撐底座，所述的支撐底座的數量為四個，分別位于支持架底部的四個邊角。

所述的支撐架底部設有真空梯形槽和真空環槽的連通接口。

本實用新型通過對光刻版圖形的重新設計，徹底解決了行業中長期存在的邊緣一圈容易出現打火漏電現象，極大、直接的提高了產品的良品率。支撐架為合金材質特殊的邊緣結構，在配合真空處理槽體，減少打火漏電的概率，提高產品質量，提升工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的光刻版本體的結構示意圖。

圖2為本實用新型的支撐架的俯視圖。

圖3為本實用新型的支撐架的剖視圖。

附圖標記說明：1－光刻版本體；2－光刻圖像區；3－梯形邊緣；4－最高邊緣；5－階梯邊緣；6－支撐架；7－真空梯形槽；8－真空環槽內；9－支撐面；10－支撐座；11－連通接口；12－置物腔體。

具體實施方式

下面結合實施例，進一步說明本實用新型。